На етапі літографії навіть незначна зміна температури у розмірі 0,3°C під час сушіння пластини чи процедури пом’якшення фотохімікату може призвести до зміни критичних розмірів на рівні кількох нанометрів. Це, у свою чергу, призводить до зниження якості продукції. Ми створили інфрачервоні нагрівачі для сушіння пластин, які дозволяють усунути цю проблему. Таким чином досягається точне контролювання температури в складних умовах, а також можливість безперервної роботи обладнання без необхідності його перезавантаження.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі, які мають швидку реакцію та точний контроль спектру. Це дозволяє енергії ефективно потрапляти в пластину та фотохімікат, без будь-яких зайвих втрат. Рівномірність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, а її точність залишається стабільною незалежно від серії виробництва. Обладнання сумісне з умовами чистих приміщень: матеріали з низьким рівнем випаровування, герметичні з’єднання та поверхні, які запобігають утворенню частинок. Це дозволяє використовувати обладнання в умовах класів чистоти 1–100. Нагрівачі можна встановлювати на стандартні процесуальні платформи з простими механічними з’єднаннями та електричними интерфейсами. Вони зберігають стабільну продуктивність протягом тисяч годин – понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%.
Чому це ефективно на практиці
Під час сушіння інфрачервоне випромінювання забезпечує рівномірне та швидке висушування пластини. Це запобігає утворенню слідів води та мікромостів перед літографією. Під час обробки фотохімікату ця сама система забезпечує точний контроль температури, що покращує рівномірність ширини ліній та якість поверхні пластини. Кроки жорсткої обробки та висихання також відбуваються за стабільними температурними профілями, що забезпечує належну адгезію та цілісність плівки без необхідності повторної обробки.
Використання енергії зменшується, оскільки нагрівачи працюють лише під час процесу обробки. Низька теплінерація також зменшує втрати енергії під час періодів неактивності. Кількість необхідних процедур сушіння зменшується, що, у свою чергу, зменшує кількість бракованих пластин та час, необхідний для виробництва.
Що потрібно знати
Встановлення обладнання полягає у правильній оптичній налаштуванні та забезпеченні достатнього простору між елементами обладнання. Якщо це зробити неправильно, на поверхні пластини можуть утворитися локальні точки підвищеної температури. Деякі полімери та антивідбивні шари сильно поглинають інфрачервоне випромінювання, тож під час первинної налаштування необхідно вимірювати температуру на поверхні пластини за допомогою каліброваного датчика, щоб переконатися у точності налаштувань. Після цього достатньо лише періодично перевіряти налаштування – щоденна корекція не є необхідною.