На виробничій ділянці ви точно знаєте, що виклик відхилення температури на 1°C під час випікання фоторезисту може зробити — змістити ширину ліній настільки, що доведеться вибракувати багато деталей. Потрібне тепло, яке потрапляє точно в ціль, саме там і саме тоді, коли це потрібно, зміна за зміною.
Що має значення всередині системи
Ми використовуємо сертифіковані інфрачервоні лампи випікання, які дають NIR енергію з термічною однорідністю на рівні пластини ±0.1°C по всій площі знімка, тому профілі фоторезисту залишаються в межах теплового бюджету. Кварцово-галогенові випромінювачі підтримують стабільний вихідний потік від м’якого випікання до твердого, з відтворюваними кривими росту температури, що захищають контроль критичних розмірів. Система розроблена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100, із нульовим збільшенням частинок на інтерфейсі процесу і повною відповідністю вимогам безпеки SEMI S2/S22 та вимогам EHS. Замкнене управління температурою, каліброване за трасованими стандартами, забезпечує стабільність випікання від партії до партії і зміни до зміни.
Саме тому це важливо в літографії: крок випікання встановлює адгезію, видалення розчинника і температуру склоподібного переходу — все, що йде далі, базується на цьому. З такою лампою ваші профілі м’якого та твердого випікання відтворювані, що зменшує переробку, захищає ретикули та дозволяє уникнути вибракування. Лампа швидко виходить на задану температуру, швидко досягає встановленого значення і підтримує його без перенагріву — отже, час циклу зменшується, а продуктивність стабілізується.
Використання енергії знижується, бо енергія спрямовується безпосередньо в пластину, а не на нагрів камери. Надійність підтверджена цілодобовою роботою фабрики, з тривалим ресурсом випромінювачів і модульною сервісністю, що мінімізує незаплановані простої.
Декілька практичних зауважень
Лампа потребує виділеного фільтрованого живлення та належної теплової ізоляції для підтримки однорідності там, де потрібно. Встановлення на більшість ліній просте, але допуски вирівнювання суворі. Заплануйте короткий кваліфікаційний прогін для картування температури по зоні нагріву і налаштування рецепту випікання під вашу шарову структуру.
Після калібрування робоче вікно процесу звужується передбачувано — що саме і потрібно, коли ви прагнете до високого виходу літографії.