Di lantai fab, pergerakan termal bukan teori semata-mata. Ia muncul sebagai kepingan wafers rosak, profil fotoresist yang terbakar, dan impak hasil yang berlingkar sepanjang barisan. Apabila lampu dalam alat Mattson RTP anda menua, keseragaman suhu berubah, dan tingkap proses mengecil. Kami membina sistem lampu gantian untuk menghentikan pergerakan itu dari sumbernya.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Lampu menggunakan elemen halogen gelombang pendek di dalam sampul kuarza tulen tinggi, memberikan kadar kenaikan suhu yang pantas tanpa melebihi bajet terma anda. Di sepanjang zon proses, keseragaman di peringkat wafer kekal dalam ±0.1°C, dan kebolehulangan kitaran-ke-kitaran dikekalkan pada 0.2°C. Ia beroperasi dengan stabil dari 250°C hingga 650°C, dengan tindak balas sub-saat—berguna untuk langkah spike anneal dan pembakaran fotoresist. Pemasangan ini diperakui untuk operasi bilik bersih Kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah dan antara muka penyambung yang sepadan dengan peralatan Mattson.
Mengapa ia berfungsi dalam litografi
Dalam litografi, soft bake dan hard bake memerlukan kawalan terma yang ketat. Walaupun lebihan kecil mengubah CD (Critical Dimension) dan sudut dinding sisi. Dengan lampu ini, profil pembakaran kekal pada sasaran, variasi lebar garis menurun, dan margin tampal meningkat. Anda juga mengurangkan penggunaan tenaga kerana lampu memanaskan wafer, bukan ruang, dan tempoh servis yang panjang mengurangkan beban PM. Kurang henti tidak dirancang, masa penggantian yang dapat dijangka, dan proses yang stabil dengan Cpk yang baik.
Ini yang perlu diingat
Pemasangan bermaksud memadankan orientasi lampu, aliran penyejuk, dan penyelarasan optik dengan ruang Mattson tertentu. Kami sertakan rutin kalibrasi dan kit pemetaan terma supaya anda boleh mendokumentasi keseragaman sebelum pelepasan. Lampu dioptimumkan untuk atmosfera nitrogen dan inert—persekitaran kaya oksigen akan memendekkan hayat elemen. Rancang larian kelayakan singkat selepas pemasangan untuk mengunci resipi dan mengesahkan prestasi zarah pada nod proses anda.