만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 미세한 먼지 한 알만으로도 큰 문제가 됩니다. 문제는 대부분의 일반적인 IR 램프들이 사실상 오염의 원인이라는 것입니다. 이러한 램프들은 저렴한 접착제나 수지, 그리고 저품질의 금속을 사용하...

클린룸의 청결성을 해치지 않으면서 적외선 가열을 어떻게 활용할 수 있을까요? 클래스 100 환경에서 작업할 때는 열 문제가 매우 중요합니다. 단순히 온도를 적절히 조절하는 것뿐만 아니라, 공기의 청결성을 유지하는 것도 중요합니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들이 “오...

서론 상상해 보세요. 공기 중에는 가연성 세척 화학물질이 가득한 웨이퍼 처리 라인입니다. 이러한 환경에서는 일반적인 가열 요소들이 즉시 고장나버립니다. 우리는 바로 이러한 극한의 환경을 위해 적외선 가열램프를 개발했습니다. 열원을 특수한 캡슐화 시스템으로 감싸서, 열...

300mm 웨이퍼의 경우, 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.3°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 예기치 못한 정지 상태가 발생하면, 단 한 번의 정지로도 한 달 동안의 열 관리 노력이 물거품이 될 수 있습니다. 웨이퍼의 적외선 차단을 위한 코팅...