반도체 부품의 비용 장벽을 극복하기 위해
현장에서 모두가 궁금해하는 질문이 있습니다. 과연 국내산 적외선 가열등이 웨이퍼 처리 장비에 사용되는 고가의 수입품을 대체할 수 있을까요?
간단히 말해, 엔지니어링이 제대로 이루어진다면 가능합니다. 저희는 기존 장비나 사양을 변경하지 않고도, 원래 장비와 마찬가지로 그대로 사용할 수 있도록 가열등을 설계했습니다. 성능 면에서도 어떠한 타협도 없으며, 그냥 바로 교체해서 사용할 수 있습니다.
전력, 전압, 크기 – 명확한 설명
모든 가열등의 핵심은 전력 공급입니다. 저희 제품도 예외는 아닙니다. 2500W의 강력한 출력을 자랑하며, 이를 통해 웨이퍼의 온도를 빠르게 안정시킬 수 있습니다.
400V의 전압으로 작동하므로, 표준 산업용 전력 시스템과 호환됩니다. 따라서 기존 장비가 요구하는 열 부하를 충분히 감당할 수 있습니다.
하지만 300mm 크기의 작은 튜브 안에 그런 강력한 전력을 담아내려면, 열 관리가 가장 중요합니다. 기계의 냉각 및 환기 시스템이 그러한 고열을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
소재와 디자인: 왜 이 제품이 효과적인가
저희는 단파 적외선 할로겐 소자를 사용하여 고순도 석영 튜브 안에 넣어서 제품을 만들었습니다. 이 조합 덕분에 빠른 반응 속도와 정밀한 온도 제어가 가능합니다.
석영 튜브는 특정 파장의 빛을 차단하기 위해 코팅되어 있어, 웨이퍼 표면이 원치 않는 에너지로부터 보호받습니다.
그리고 호환성의 비결은 바로 커넥터입니다. 표준 R7s 커넥터를 사용하기 때문에, 기존에 있는 소켓에 그대로 연결됩니다. 다시 배선할 필요도, 장착을 수정할 필요도 없습니다. 그냥 바로 교체하기만 하면 됩니다.
실제 사용 시의 느낌
생산 라인을 운영하는 엔지니어에게 이 제품은 연속성을 의미합니다. R7s 커넥터와 표준화된 크기 덕분에 교체 작업은 몇 분밖에 걸리지 않습니다. 그래서 가동 중단 시간도 줄어듭니다. 높은 열 밀도 덕분에 복잡한 처리 과정도 문제없이 진행됩니다.
단, 한 가지 유의해야 할 점이 있습니다. 2500W의 강력한 전력을 사용하면 열이 발생합니다. 따라서 냉각 시스템이 그러한 열을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 저희는 가열용 전력을 제공할 뿐, 기계가 그 열을 감당할 수 있는지는 여러분이 확인해야 합니다.