와이어 번의 치료 과정에서 발생하는 램프 고장 문제를 해결하기
고부하 생산 라인을 가동할 때는 적외선 램프를 그 한계까지 사용하게 됩니다. 이는 매우 스트레스가 심한 환경입니다. 램프가 결국 고장 나거나 더 나쁘게는 폭발할 경우, 가동 중단 시간은 문제의 절반에 불과합니다.
진짜 문제는 오염입니다. 유리 조각이나 텅스텐 필라멘트가 웨이퍼 위로 떨어지는 상황을 상상해보세요. 하나의 램프가 폭발하면 몇 초 만에 전체 제품이 망가집니다. 이는 처리하기 어려운 큰 문제입니다.
반사판: 단순한 거울이 아닙니다
대부분의 사람들은 반사판을 적외선을 웨이퍼 쪽으로 반사시키는 역할만 하는 것으로 생각합니다. 하지만 우리는 그것을 다르게 바라봅니다.
고장이 발생했을 때, 반사판은 보호막 역할을 합니다. 우리는 깊은 형태의 반사판과 밀착되는 케이싱을 사용합니다. 램프가 폭발하더라도 파편들이 웨이퍼 위로 떨어지지 않고 생산 구역 밖으로 배출됩니다. 이것은 간단한 기계적 해결책으로, 많은 문제를 줄여줍니다.
열, 재료, 그리고 “손상” 문제
우리는 반사율을 높이기 위해 고순도 알루미늄과 특수한 반사 코팅을 사용합니다. 왜냐하면 그렇게 하면 케이싱이 너무 많은 열을 흡수하지 않기 때문입니다.
램프를 최대 출력으로 작동시킬 때는 열 밀도가 매우 높습니다. 반사판이 그 열을 제대로 방출하지 못하면 램프의 끝부분이 과열됩니다. 바로 그때 밀폐성이 떨어지고 문제가 발생합니다.
간단한 팁: 공기 흐름을 잘 확인하세요. 반사판 부분의 냉각이 제대로 이루어지지 않으면 램프의 수명이 줄어듭니다.
청결 유지
우리는 기계적인 측면에 많은 신경을 씁니다. 우리의 설계에는 접착제나 느슨한 실링재가 전혀 없습니다. 왜냐하면 그런 것들은 열이 나면 화학적 증기를 방출하기 때문입니다.
대신 우리는 볼트와 클립을 사용합니다. 화학물질도 없고, 증기도 없으며, 치료 과정에 방해가 되지도 않습니다.
또한 램프를 연결할 때는 램프 클립에 주의를 기울여야 합니다. 많은 사람들이 여기서 실수를 합니다. 너무 단단히 조이면 램프가 폭발할 수 있고, 너무 느슨하면 전기 간섭이 발생할 수 있습니다. 적절한 상태로 조절하면 시스템이 웨이퍼를 위험에 빠뜨리지 않고 작동할 수 있습니다.