בחדר הליתוגרפיה, לומדים במהירות ששינוי של 1°C במהלך תהליך האידוי של הפוטורזיסט אינו גורם רק לשינוי בתהליך עצמו – הוא גם גורם לשינוי בעובי קווי ההדפסה, מה שעלול להרוס את כל התהליך. ואם יש שכבה דקה של מתח פני השטח על הוופר, זה יגרום להצטברות של חלקיקים, וכתוצאה מכך התהליך ייכשל. שליטה תרמית אינה פונקציה משנית – זו חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו.
מה חשוב מבחינה טכנית: החיממים בגלי אינפרא-אדום שלנו מאפשרים שמירה על אחידות בטמפרטורה ברמת הוופר, בטווח של ±0.1°C, עם חזרתיות של הטמפרטורה בטווח של ±0.2°C. ההתגובה המהירה של החיממים מקצרת את זמן הפעולה, והשליטה האוטומטית שומרת על יציבות הטמפרטורה גם כשהדלתות נפתחות ונסגרות. העיצוב ללא קוורץ מונע הצטברות של חלקיקים, כך שניתן לשמור על רמת ניקיון של רמה 1–100. ניתן לקבל אמינות 24/7, ללא כל עצירות בלתי צפויות, עם זמן שירות של יותר מ-10,000 שעות.
למה זה עובד במפעל: בתהליך אידוי הוופר, קרינת האינפרא-אדום חודרת לתוך המבנים הדקים של הוופר ומסירה את החומרים המרססים, מבלי ליצור שכבה דקה על פני השטח. כך ניתן לבצע ייבוש ללא מגע, מה שמפחית את היצמדות החלקיקים. בתהליכי אידוי הפוטורזיסט, האחידות והחזרתיות של הטמפרטורה מאפשרות שליטה טובה יותר בממדים החשובים של ההדפסה, וכן מפחיתים את רמת הפגמים. צריכת האנרגיה גם היא יורדת – התגובה התרמית המהירה מפחיתה את זמן ההמתנה, מה שמקטין את עלויות התפעול לכל סדרה של הדפסה.
מה צריך לקחת בחשבון: ההתקנה פשוטה על מסילות סטנדרטיות, אך יש צורך באלינגומנטציה נכונה של המחזירים והחיממים. יש צורך לבדוק את האלינגומנטציה בפעם הראשונה, וכן לבצע התאמות כאשר מחליפים את החיממים. יש צורך בזמן קצר לייצוב הטמפרטורה לפני שניתן להתחיל את התהליך. לאחר ההתאמה, השינויים בטמפרטורה יהיו מינימליים – יש צורך להקצות זמן להתאמות הראשוניות כחלק מתהליך האינטגרציה.