בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.3°C בזמן ייבוש הוואפר או בזמן טיפול בפוטורזיסט עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר – שינויים שנמדדים בננומטרים. שינויים אלו עלולים לגרום לירידה באיכות המוצר הסופי. לכן, פיתחנו מחממים באור אינפרא-אדום שמאפשרים שליטה טובה יותר בטמפרטורה, ובכך למנוע שינויים אלו. כך ניתן להשיג שליטה טובה יותר בטמפרטורה בתהליכים שבהם היא קריטית, וכן להגדיל את זמן העבודה של המכונה, מבלי שהוא יהיה תלוי במצב המחמם.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי חימום באור אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה ושליטה טובה בספקטרום האור. כך, האנרגיה מועברת בצורה יעילה לוואפר ולפוטורזיסט – ללא עודפי אנרגיה. האחידות בטמפרטורה ברחבי הוואפר נשארת בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של התהליך נשמרת ברמה גבוהה. המחממים תואמים לסביבות נקיות – הם משתמשים בחומרים עם פליטת גזים נמוכה, והמשטחים שלהם מונעים ייצור של חלקיקים, כך שהם מתאימים לסביבות סוג 1–100. מודולי החימום ניתנים להתקנה על מערכות סטנדרטיות, עם חיבורים חשמליים פשוטים. הם מספקים פלט יציב במשך אלפי שעות – 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בפלט של פחות מ-5%.
למה זה עובד בפועל? בתהליך הייבוש, אור אינפרא-אדום מאפשר ייבוש אחיד ומהיר של הוואפר. דבר זה מונע היווצרות של סימני מים וגשרים זעירים על פני הוואפר, לפני הליתוגרפיה. בתהליך טיפול בפוטורזיסט, אותו מערכת מאפשרת שליטה טובה בטמפרטורה, מה שמשפר את אחידות הרוחב של השכבה על הוואפר. שלבי החימום והעיבוד מתבצעים בטמפרטורות קבועות, כך שההידבקות של החומרים על הוואפר ושלמות השכבה נשמרות, ללא צורך בעבודות תיקון.
צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמחממים פועלים רק כשהתהליך פועל. האינרציה התרמית הנמוכה מונעת אובדן אנרגיה בזמן שהמכונה לא פועלת. כמות פחותה של תהליכי חימום פירושה פחות וואפרים פגומים, וזמן עבודה יציב יותר.
מה חשוב שתדעו? ההתקנה כוללת התאמה אופטית ווידוא שהמחממים נמצאים במיקום הנכון. אם זה לא נעשה כראוי, עלולים להיווצר אזורים חמים על פני הוואפר. חומרים מסוימים ושכבות אנטי-החזרה סופגים אור אינפרא-אדום בצורה חזקה, לכן יש לבדוק את הטמפרטורה על פני הוואפר באמצעות חיישן מדויק, כדי לוודא שהטמפרטורה נמצאת ברמה הנכונה. לאחר שהפרופיל נקבע, ניתן לבצע בדיקות קבועות – ללא צורך בהתאמות יומיות.