حفظ ایمنی هنگام خشک کردن ویفرهای MEMS
بیایید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای مادون قرمز با توان بالا در کنار مواد حلال قابل اشتعال، راهی برای بروز فاجعه است. اگر میخواهید ویفرهای سنسورهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک کنید، به گرما نیاز دارید؛ اما قطعاً نمیخواهید در اتاق تمیزکاری شما آتش به وجود آید.
به همین دلیل، ما فقط لامپها را ساختن نمیکنیم؛ بلکه آنها را با نوع خاصی از محافظتها ساختهایم تا از رسیدن این بخارات ناپایدار به بخشهای الکتریکی جلوگیری شود.
مقابله با بخارات
در اتاقهای شستشوی شیمیایی، هوا بسیار غلیظ است؛ پر از بخارات مواد حلال که میتوانند منجر به اشتعال یا گرمای بیش از حد شوند. یک لامپ معمولی قطعاً نمیتواند در برابر این شرایط مقاومت کند.
ما از پوششهای کوارتزی ویژهای استفاده میکنیم؛ این پوششها مانند یک دیوار فیزیکی عمل کرده و مواد شیمیایی را از داخل لامپ دور نگه میدارند. نکته خوب این است که اگر این پوششها خراب شوند، لامپ فقط خاموش میشود؛ این روش بهتر از بروز آتشسوزی در اتاق تمیزکاری است. این تنها راه برای خواب آرام شبانه است.
مدیریت گرما
ما از فرستندههای مادون قرمز با موج کوتاه استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون میخواهیم گرما مستقیماً به سطح ویفر برسد. نمیخواهیم کل ساختار دستگاه به یک فر تبدیل شود.
اما باید به یاد داشته باشید که این نوع انرژی بسیار قوی است؛ بنابراین پمپهای خنککننده بسیار مهم هستند. اگر جریان هوا مسدود شود، پوشش لامپ دچار فشار میشود و لولههای لامپ زودتر از حد معمول خراب میشوند. حتماً پمپهای خنککننده را بررسی کنید.
جزئیات نصب
دستگاههای خشککن صنعتی بسیار لرزش دارند؛ بنابراین از اتصالات قوی برای اتصال قطعات استفاده میکنیم. این اتصالات مانند پلاگهای ضعیف موجود در توستر نیستند؛ بلکه اتصالات بسیار مقاومی هستند. کافی است آنها را یک بار وصل کنید و دیگر نیازی به نگرانی درباره آنها نیست.
وقتی که نوبت تعویض لامپ فرا برسد، حتماً پوشش لامپ را بررسی کنید؛ اگر ترکی در پوشش وجود داشته باشد، مواد شیمیایی وارد لامپ شده و به تدریج عایقهای سیمها را از بین میبرند. این موضوع میتواند منجر به خرابی دستگاه شود.
پیشنهاد میکنم هر ۵۰۰ ساعت کاری، پوشش لامپ را بررسی کنید؛ این کار چند دقیقه زمان میبرد، اما از بروز مشکلات ناخواسته جلوگیری میکند.