در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما به میزان ۰.۳ درجه سانتیگراد در حین خشک کردن ویفرها یا گرم کردن فوتورزیست، میتواند ابعاد مهم آنها را چند نانومتر تغییر دهد. این تغییرات منجر به کاهش بازدهی فرآیند میشود. ما هیترهای مادون قرمزی را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرند. به این ترتیب، کنترل دمایی دقیقی در فرآیندهای حساس حاصل میشود، و زمان کاری دستگاه نیز به چرخههای گرمایشی وابسته نخواهد بود.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما از امیترهای مادون قرمز با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ بنابراین انرژی به طور مؤثری به ویفرها و فوتورزیست منتقل میشود، بدون ایجاد نوسانات. یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند، و تکرارپذیری فرآیند نیز در محدودهای بسیار دقیق است. این دستگاهها با محیطهای پاکسازی شده سازگار هستند؛ موادی که گاز کمی تولید میکنند، اتصالات دربسته، و سطوحی که تولید ذرات را تا حد صفر کاهش میدهند، به این معناست که این دستگاهها میتوانند در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز استفاده شوند. ماژولهای گرمایشی این دستگاهها به راحتی در پلتفرمهای استاندارد نصب میشوند؛ همچنین، آنها توانایی تولید خروجی پایدار در طول هزاران ساعت را دارند؛ بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت، با کاهش توان خروجی کمتر از ۵٪.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ در فرآیند خشک کردن، مادون قرمز باعث خشک شدن یکنواخت و سریع ویفرها میشود؛ این امر از ایجاد لکههای ناشی از آب و ایجاد پلهای کوچک در سطح ویفر جلوگیری میکند. در فرآیند پردازش فوتورزیست نیز، همین سیستم با کنترل دقیق دما، باعث بهبود یکنواختی عرض خطوط و کاهش نوسانات در سطح ویفر میشود. مراحل گرم کردن و ترمیم نیز در چارچوب دمایی یکنواختی انجام میشوند؛ بنابراین چسبندگی و یکپارچگی فیلم حاصل، در محدوده استانداردها باقی میماند، بدون نیاز به بازکاری.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمایش تنها زمانی انجام میشود که فرآیند در حال انجام است. همچنین، اینترسیا ترمیک پایین، باعث کاهش هدررفت انرژی در حالت استراحت میشود. کاهش تعداد دفعات گرم کردن، منجر به کاهش تعداد ویفرهای باکیفیت کمتر و کاهش زمان فرآیند میشود.
چه چیزهایی را باید بدانید؟ نصب این دستگاهها نیازمند تنظیمات نوری و فاصلههای مناسب است؛ در صورت اشتباه در این موارد، نقاط گرم خاصی روی ویفر ایجاد خواهد شد. برخی از پلیمرها و لایههای ضدانعکاس، در محدوده مادون قرمز، انرژی را به خوبی جذب میکنند؛ بنابراین، در اولین آزمایش، باید دمای سطح ویفر را با استفاده از سنسورهای دقیق اندازهگیری کرد تا دقت تنظیمات مشخص شود. پس از تنظیم صحیح، دیگر نیازی به تنظیمات روزانه نیست.