Sichere Aufbewahrung der MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses
Seien wir ehrlich: Eine Infrarotlampe mit hoher Intensität direkt neben brennbaren Lösungsmitteln zu platzieren, bedeutet Katastrophe. Wenn man MEMS-Sensorwafer nach einer chemischen Reinigung trocknen möchte, braucht man zwar Wärme – aber auf keinen Fall ein Feuer in der Reinraumumgebung.
Deshalb bauen wir die Lampen nicht einfach nur her – wir versehen sie mit einer speziellen Schutzschicht, damit die flüchtigen Dämpfe von den aktiven Komponenten ferngehalten werden.
Umgang mit den Dämpfen
In einem Raum, in dem chemische Reinigungsprozesse stattfinden, ist die Luft sehr dicht – voller Lösungsmitteldämpfe, die leicht zum Entzünden oder Überhitzen führen können. Eine gewöhnliche Lampe hätte keine Chance gegen diese Bedingungen.
Wir verwenden daher einen speziellen Quarzkörper mit Glas-Metall-Dichten. Man kann sich das wie eine physische Wand vorstellen – sie schützt die Elektronik der Lampe vor den Chemikalien. Das Beste daran: Falls diese Dichtungen versagen, geht die Lampe einfach aus. So vermeiden wir unerwünschte Ausbrüche. Wir bevorzugen lieber eine ausgefallene Lampe als einen Brand in der Reinraumumgebung. Das ist der einzige Weg, nachts ruhig schlafen zu können.
Kontrolle der Hitze
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler. Warum? Weil wir wollen, dass die Wärme direkt auf die Oberfläche der Wafer trifft. Man möchte schließlich nicht, dass der gesamte Maschinenrahmen zu einem Ofen wird.
Denken Sie jedoch daran: Diese Art von Energie ist sehr intensiv. Die Kühlventilatoren sind daher wichtig – wenn der Luftstrom blockiert wird, beginnt die Hülle der Lampe unter Druck zu geraten, und die Leitungen können bereits früher platzen. Überprüfen Sie Ihre Ventilatoren regelmäßig.
Details zur Installation
Industrielle Trocknungsanlagen vibrieren stark. Deshalb verwenden wir verstärkte Anschlüsse. Es handelt sich dabei um robuste Verbindungen – keine zerbrechlichen Stecker wie bei einem Toaster. Man muss sie nur einmal anschließen, danach kann man sie vergessen.
Wenn es Zeit ist, eine Lampe auszutauschen, überprüfen Sie unbedingt die Dichtigkeit der Abdeckung. Falls es Risse gibt, können Chemikalien eindringen und die Isolierung der Leitungen allmählich zerstören. Das ist eine tödliche Gefahr für Ihre Ausrüstung.
Ich empfehle, alle 500 Betriebsstunden die Dichtigkeit zu überprüfen. Das dauert nur wenige Minuten – doch dadurch können Sie unplanmäßige Stillstände vermeiden.