Im Produktionsprozess können dünnfilmige Solarelemente keine thermischen Schwankungen tolerieren. Selbst eine Abweichung von einem Grad kann dazu führen, dass Reste des Photoresists zurückbleiben, dass Schichten entstehen und die Ertragsrate sinkt. Es ist daher notwendig, dass die Wärme gezielt dort wirkt, wo sie benötigt wird – und das in jedem Zyklus wieder.
Infrarotpräzision: Präzise Kontrolle des thermischen Feldes auf Submillimeterebene
Wir haben diese Trockenlampe mit NIR-Quellen ausgestattet, die für eine schnelle, lokalisierte Erwärmung sorgen. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges thermisches Feld auf der gesamten Oberfläche des Substrats – die Temperaturvarianz liegt bei ±0,1°C.
Die Wiederholgenauigkeit ist bereits im Steuerkreis berücksichtigt, sodass jede Erwärmungsphase genau wie die vorherige abläuft – ohne Hotspots oder kalte Stellen. Die Lampe ist kompatibel mit Reinraumklassen 1–100. Zudem entstehen keine Partikel, wodurch die Partikelzahl auch bei langen Betriebszeiten konstant bleibt.
Warum es bei der Herstellung von dünnfilmigen Solarelementen funktioniert
Dünnnfilmische Solarelemente erfordern strenge thermische Bedingungen sowie saubere Schnittstellen. Diese Lampe bietet die notwendige Wiederholgenauigkeit für einen konsistenten Photoresist-Prozess – von der sanften bis zur intensiven Erwärmung – ohne dass es zu Überschreitungen kommt, die Lösungsmittel freisetzen könnten, oder zu Unterbeschneidungen, die Reste hinterlassen würden.
Die schnelle, direkte Erwärmung verkürzt die Bearbeitungsdauer, senkt den Energieverbrauch und sorgt dafür, dass das Prozessfenster stabil bleibt. Die Lampen können über 5.000 Stunden lang betrieben werden, ohne dass der Ausbeute mehr als 5% abnimmt. Dadurch ist ein 24/7-Betrieb möglich, mit weniger Lampentauschen und weniger unplanierten Stillständen.
Installations- und Betriebshinweise
Diese Trockenlampe passt problemlos in vorhandene Halterungen. Allerdings muss der Optikweg präzise ausgerichtet werden, damit die gewünschte Gleichmäßigkeit erreicht wird. Es ist außerdem notwendig, die Abstände sowie das Strahlprofil für das jeweilige Substrat einzustellen.
Ein Betrieb in Umgebungen mit niedriger Luftfeuchtigkeit trägt zur Langzeitstabilität bei. Wenn die Substrate unterschiedliche Absorptions Eigenschaften haben, muss das Verfahren angepasst werden, damit die thermischen Bedingungen weiterhin eingehalten werden können.