Hören Sie auf, die Wände der Schutzkammern zu erhitzen!
Jeder, der schon mit Halbleiter-Schutzkammern gearbeitet hat, kennt dieses Problem. Man muss das Innere der Kammer erwärmen – doch man möchte nicht, dass die Außenwände zu einer Art „Raumheizung“ werden.
Wenn man Standard-Heizgeräte verwendet, wird im Grunde genommen nur die Luft erhitzt. Diese heiße Luft trifft auf alles – auf die Gehäuse, die Dichtungen sowie den Arm des Bedieters. Das ist äußerst problematisch. Es entstehen lästige Hotspots, die die Dichtungen beschädigen können – oder schlimmer noch: jemanden verletzen können.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: direktionales Infrarot-Heizen.
Warum Infrarot-Heizen funktioniert
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt einer Raumheizung. Infrarotstrahlen werden in gerader Linie ausgesandt. Die Wärme kümmert sich nicht um die Luft um sie herum – sie wirkt nur dort, wo sie auf das Ziel trifft, also auf Ihre Wafer oder Substrate.
Das Ergebnis? Die Werkstücke werden heiß – doch die Wände der Schutzkammer bleiben kalt. Das ist eine viel effektivere Methode, um hohe Wärmestrukturen zu erzeugen.
Die richtige Ausrüstung wählen
Wir verwenden in der Regel Kurzwellen-Infrarotleuchten. Sie dringen tiefer ein und reagieren viel schneller.
Bei der Einrichtung ist der Winkel entscheidend. Man kann die Leuchte so einstellen, dass der Lichtstrahl genau auf das gewünschte Ziel gerichtet wird.
Aber Achtung: Die Leistungsstärke der Leuchte muss zum Material passen. Wenn man eine Leuchte mit hoher Leistung verwendet, aber das Material diese Wellenlänge nicht absorbiert, prallt die Energie einfach ab. Dann ist man wieder am Anfang – die Wärme verteilt sich weiterhin im Raum und heizt die Wände auf. Man muss also die Leistung der Leuchte so einstellen, dass sie zum Material passt.
Ehrliche Kompromisse
Es handelt sich dabei nicht um eine perfekte Lösung für alle Probleme. Da die Wärme so gezielt wirkt, entstehen starke Temperaturunterschiede. Die Mitte des Werkstücks wird sehr heiß, während die Ränder kühler bleiben. Wenn man eine gleichmäßige Erwärmung erreichen möchte, muss man das Werkstück drehen oder mehrere Leuchten verwenden.
Und noch ein Hinweis: Seien Sie vorsichtig mit den Quarzkörpern. Sie sind zerbrechlich. Ein unvorsichtiger Umgang während der Installation kann dazu führen, dass die Leuchte kaputt geht. Behandeln Sie sie daher mit Vorsicht.