Warum Carbonfaser-IR-Lampen in der Halbleiterindustrie erfolgreich sind
Die Halbleiterindustrie steht unter großem Druck, umweltfreundlicher zu werden. Angesichts des Drucks, auf bleifreie Materialien zurückzugreifen, sowie der Notwendigkeit, Emissionen zu vermeiden, reichen die alten Methoden nicht mehr aus. Deshalb gibt es einen großen Wandel weg von den herkömmlichen Konvektionsöfen und Halogenlampen. Carbonfaser-IR-Lampen übernehmen nun diese Aufgabe – sie erfüllen ihre Funktion ohne jegliche Abfälle.
Wie das funktioniert
Stellen Sie sich diese Emittoren als Kohlenstofffilamente mit hoher Widerstandskraft vor, die in einem Quarztrog untergebracht sind. Anstelle nur Wärme abzustrahlen, geben sie ein breites Spektrum an mittellangen bis langwelligen Infrarotstrahlen ab. Das ist wichtig, denn so dringt die Wärme tief in die Photoresiststoffe und Klebstoffe ein, anstatt nur die Oberfläche zu verbrennen. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der gesamten Waferfläche. Keine Sorgen mehr wegen Verformungen durch die aggressiven Kurzwellenlampen.
Energieeinsparung – und weniger Probleme
Wenn man mit bleifreien Lötstoffen arbeitet, weiß man, wie anspruchsvoll diese sind. Man benötigt ein sehr präzises Temperaturprofil – andernfalls besteht die Gefahr der Oxidation. Carbonfaser-Lampen erreichen die gewünschte Temperatur in Sekundenbruchteilen. Das ist wirklich schnell. Dadurch kann man auf die riesigen, energieintensiven Vortrocknungsboxen verzichten. Zudem wird keine Energie damit verschwendet, die Luft im Raum zu erhitzen – es wird nur das Produkt erhitzt. Es entstehen keine Verbrennungsprodukte und keinen Ozongeruch. Es handelt sich dabei also um eine saubere Alternative zu den alten, schädlichen Elementen.
Die realen Nachteile
Nichts ist perfekt. Da Carbonfaser-Lampen eine größere Strahlungsfläche haben, eignen sie sich hervorragend dazu, „heiße Stellen“ zu beseitigen. Allerdings erreichen sie nicht so schnell wie Kurzwellenquarzlampen die gewünschte Temperatur. Wenn Ihr Prozess eine schnelle Aushärtung erfordert, kann das etwas langsam erscheinen. Sie müssen dann die Geschwindigkeit des Transportbands anpassen, damit die Kohlenstofffilamente die Wärme richtig abgeben können. Wir haben diese Lampen speziell für Reinräume entwickelt. Das Quarz ist chemisch inert – daher müssen Sie sich keine Sorgen um Ausgasungen oder Kontaminationen der Wafer machen. Kombinieren Sie die Lampen einfach mit einem PID-Regler, um die Temperatur konstant zu halten – dann funktioniert alles einwandfrei.