Wie man Infrarot-Heizung einsetzen kann, ohne die Sauberkeit des Reinraums zu gefährden
Wenn man in einem Raum der Klasse 100 arbeitet, stellt die Wärme ein echtes Problem dar. Es geht nicht nur darum, die richtige Temperatur zu erreichen – vielmehr muss die Luft weiterhin äußerst sauber bleiben.
Das Problem ist, dass herkömmliche Infrarotlampen oft „schmutzig“ sind. Sie geben Gase ab oder es fallen kleine, unsichtbare Teilchen vom Reflektor ab. Wenn eines dieser Teilchen auf eine Wafer oder einen optischen Bauteil fällt, entsteht ein riesiges Problem.
Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden hochreines Quarzgehäuse in Kombination mit speziellen Aluminiumreflektoren.
Warum wir synthetisches Quarz verwenden
Wir haben synthetisches, hochreines Quarz für die Lampengehäuse gewählt. Warum? Weil dieses Material starken Belastungen standhalten kann. Bei hohen Leistungen beginnt bei normalem Glas die Degradation – das tut dieses Material nicht. Es kann thermische Schocks gut verkraften und leitet keine metallischen Verunreinigungen in den Arbeitsbereich ab. Es bleibt also sauber, selbst wenn es sehr heiß wird.
Das Problem mit den Reflektoren
Der Reflektor ist meist der Ort, an dem die Kontamination beginnt. Billige, polierte Reflektoren sind katastrophal – sie lösen sich im Laufe der Zeit auf oder oxidieren. Wir verwenden hochwertiges Aluminium mit einer speziellen Oberflächenbeschichtung, die es ermöglicht, die Infrarotenergie zurückzuwerfen, ohne dass dabei Partikel freigesetzt werden.
Die Passform muss perfekt sein – wir stellen sicher, dass die Hitze direkt auf das Ziel trifft. Wenn der Reflektor auch nur um wenige Millimeter falsch positioniert ist, geht die effektive Heizleistung verloren – und plötzlich erwärmt sich der ganze Raum. Das will niemand.
Um alles ordnungsgemäß funktionieren zu lassen
Diese Lampen passen in die meisten Reinräume ohne Probleme. Doch ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie die Luftströmungen. Die Materialien selbst sind zwar sauber, doch intensive Hitze erzeugt Konvektionsströmungen. Wenn die laminare Luftströmung nicht richtig eingestellt ist, können diese Strömungen Staub vom Boden auf die Bauteile blasen.
Wir haben diese Lampen rund um die Uhr in Betrieb gehabt – ohne dass es zu irgendwelchen Problemen kam. Nur einer Hinweis: Stellen Sie sicher, dass die Verkabelung geschützt ist. Die Stromversorgung kann elektromagnetische Störungen erzeugen, die die empfindlichen Sensoren im Reinraum beeinträchtigen könnten.