停止为机柜加热，而是直接为晶圆加热吧
如果你曾经使用过普通的电阻式加热器，那就知道它有多麻烦了。这类加热器会把热量散布到各个地方，导致环境变得一团糟。能量没有被有效利用，而是被机柜的内部结构吸收掉了。这样一来，机柜的壁面就会变得非常热。这不仅会损坏精密的电子元件，对于那些需要接触设备的人来说，也是一大灾难。没人愿意操作一台会烫伤人的机器。
定向加热的原理
我们通过使用短波红外灯来解决这个问题。这种灯更像是手电筒，而不是传统的空间加热器。其能量是沿直线传播的，不会浪费时间去加热周围的空气，而是直接作用于晶圆表面。通过调整焦距并添加反射层，我们可以将所有热量集中在晶圆上。这样，机柜的壁面就能保持低温状态。
功率、精度以及注意事项
这些高功率的灯泡确实很有效，尤其是在需要快速提升温度的情况下。我们通常会配合PID控制器来使用它们，以避免因温度过高而损坏产品。不过，不能简单地增加功率就不管了。如果在不加防护的情况下将大量热量集中到一个小空间里，热量仍然会渗透到机柜内部。经过测试，镀金或抛光过的铝制反射层效果最好——它们可以将多余的辐射光反射回去，直接照射在晶圆上。
局限性（因为没有什么是完美的）
定向加热并非万能的解决方案，它也有自己的局限性。随着距离光源的增加，热量会迅速减弱。如果晶圆没有准确放置在固定装置上，就会出现局部过冷的情况。因此，必须确保Z轴的精度非常高，这样才能让整个表面的温度保持均匀。最后一点：这些灯泡的温度非常高。如果冷却风扇出现故障，灯泡可能几分钟内就会烧毁。为了避免麻烦，务必确保在气流减少时立即切断电源。这样就能避免很多问题。