300 mm’lik bir hat üzerinde, wafer üzerindeki 0,3°C’lük bir sıcaklık değişimi bile kritik boyutları etkileyebilir. Bir kez meydana gelen planlanmamış...

Litografide, fotoresistin ısıtılmasını “sadece ısıtma” olarak görmeyiz. Bu işlem aslında boyutsal kontrolle ilgilidir. Yumuşak veya sert ısıtma...