Fabrika katında, termal sapmalar teorik değildir. Bu durum, hurda waferlar, zarar görmüş fotoresist profilleri ve üretim hattı boyunca dalgalanan...

Hat üzerinde, eğilmiş bir wafer sadece hurda değildir. Bu, verimliliğe doğrudan darbe ve takvim açısından baş ağrısıdır. Konveksiyon fırınları termal...