생체 센서 제작용 적외선 램프

생체센서 웨이퍼를 제조할 때는 열 제어를 매우 철저하게 해야 합니다. 왜냐하면 포토레지스트는 약간의 온도 변화도 용납하지 않기 때문입니다. 핵심 치수가 점점 더 작아짐에 따라, 몇 도만큼의 오차가 있어도 선의 굵기가 기준치를 벗어나게 되고, 그 결과 폐기물이 발생합니...