일반적인 대류식 오븐은 기본적으로 뜨거운 공기가 가득한 큰 상자에 불과합니다. 반도체 클린룸에서는 이런 방식은 재앙과도 같습니다. 왜냐하면 그 열이 그 자리에 머물지 않고 장비의 벽면으로 스며들어서, 기계의 외부가 너무 뜨거워져서 사람이 다칠 수 있기 때문입니다. 또한 HVAC 시스템도 공기를 깨끗하게 유지하기 위해 계속해서 노력해야 합니다.
열을 이동시키는 더 좋은 방법 우리는 다른 방식을 사용합니다. 공기를 데우는 대신, 단파 적외선 램프를 사용하는 것입니다. 마치 손전등과 같습니다. 열은 직선으로 이동하여 공기나 오븐의 벽을 지나 작업물에 직접 닿습니다. 에너지는 정확히 필요한 곳으로 전달됩니다. 열이 방 안을 돌아다니지 않으므로, 기계의 외부가 거대한 라디에이터가 되는 것을 막을 수 있습니다.
어려운 점 하지만 원하는 속도를 얻으려면 고출력의 석영 요소를 사용해야 합니다. 이는 반응 속도가 빠르다는 장점이 있지만, 반대로 문제도 생길 수 있습니다. 램프와 작업물 사이의 거리를 정확하게 조절해야 합니다. 램프가 너무 가까우면 작업물이 손상될 수 있고, 너무 멀면 정밀도가 떨어지고 열이 다시 기계 내부로 퍼질 수 있습니다. 이는 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
왜 이게 중요한가? 가장 중요한 것은 열 자체가 아니라, 열이 없다는 점입니다. 엄청난 양의 공기를 사용하지 않으므로, 거대한 송풍기를 사용할 필요가 없습니다. 그렇게 되면 진동도 줄어들고, 공기 중에 떠다니는 입자도 줄어듭니다. 클린룸에서는 이것이 큰 장점입니다. 게다가, 작업자들도 화상을 입을 걱정 없이 기계를 만질 수 있습니다.
설치 시 주의사항 이 장비를 연결할 때는 그냥 전원을 연결해서는 안 됩니다. SCR 파워 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 이 장치는 전력 변동으로 인해 필라멘트가 손상되는 것을 막아주며, 온도를 정확하게 조절할 수 있도록 해줍니다.
마지막으로, 기존의 대류식 코일을 적외선 램프로 교체할 때는 먼저 전력 용량을 확인해야 합니다. 적외선 램프는 한 번에 많은 전력을 소비하기 때문에, 초기에는 기존의 천천히 열이 나는 코일보다 훨씬 많은 전력이 필요합니다.