클린룸의 청결성을 해치지 않으면서 적외선 가열을 어떻게 활용할 수 있을까요?
클래스 100 환경에서 작업할 때는 열 문제가 매우 중요합니다. 단순히 온도를 적절히 조절하는 것뿐만 아니라, 공기의 청결성을 유지하는 것도 중요합니다.
문제는 일반적인 적외선 램프들이 “오염된 상태”라는 점입니다. 이러한 램프들은 반사판에서 미세한 입자들을 방출하기 때문입니다. 만약 그런 입자들이 웨이퍼나 광학 부품에 닿으면 큰 문제가 생깁니다.
우리는 고순도 석영 소재의 외장과 특수하게 설계된 알루미늄 반사판을 함께 사용하여 이 문제를 해결했습니다.
왜 합성 석영을 사용하는가?
램프의 외장으로 합성 고순도 석영을 사용하는 이유는, 그 재질이 충격에 강하기 때문입니다. 고출력으로 작동할 때 대부분의 유리는 손상되거나 “연기”가 납니다. 하지만 합성 석영은 그렇지 않습니다. 열충격에도 잘 견디며, 금속성 불순물이 작업 공간으로 유출되지 않습니다. 따라서 뜨거워져도 여전히 깨끗한 상태를 유지합니다.
반사판의 문제점
문제는 반사판이 바로 오염이 시작되는 곳이라는 점입니다. 저품질의 반사판들은 시간이 지나면서 벗겨지거나 산화됩니다. 우리는 고급 알루미늄을 사용하여 적외선 에너지를 원래 위치로 반사시키고, 어떤 입자도 방출하지 않도록 합니다.
반사판의 위치는 정확해야 합니다. 열이 정확히 목표물에 도달하도록 해야 합니다. 반사판의 위치가 단 몇 밀리미터만 잘못되어도 열 밀도가 떨어지고, 결국 전체 장비가 따뜻해집니다. 이는 아무도 원하지 않는 일입니다.
실제로 작동시키는 방법
이러한 램프들은 대부분의 고청정도의 생산 라인에 쉽게 적용됩니다. 하지만 한 가지 팁을 드리자면, 공기 흐름을 꼭 확인해보세요. 재료 자체는 깨끗하지만, 강한 열은 대류 현상을 일으킬 수 있습니다. 만약 층류 흐름이 제대로 조절되지 않으면, 그러한 현상으로 인해 바닥의 먼지가 부품 위로 올라올 수 있습니다.
우리는 이 램프들을 24/7으로 연속적으로 사용해왔지만, 입자가 전혀 발생하지 않았습니다. 참고로, 배선이 잘 보호되어 있는지 꼭 확인하세요. 전원 공급장치가 전자기 간섭을 일으켜 정밀한 클린룸 센서들에 문제가 생길 수 있습니다.