Menjaga Keamanan Saat Mengeringkan Wafer MEMS
Sejujurnya, meletakkan lampu inframerah berintensitas tinggi di dekat bahan pelarut yang mudah terbakar merupakan cara yang berbahaya. Jika Anda ingin mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, Anda membutuhkan panas yang banyak. Namun, tentu saja Anda tidak ingin terjadi kebakaran di ruang pembersihan tersebut.
Itulah mengapa kita tidak hanya membuat lampu biasa saja. Kita merancang lampu tersebut dengan lapisan pelindung khusus agar uap-uvap mudah terbakar tetap jauh dari bagian-bagian yang bersifat listrik.
Mengatasi Uap Kimia
Di dalam ruang pembersihan kimia, udaranya sangat tebal akibat adanya uap pelarut yang mudah terbakar. Lampu biasa tentu tidak akan mampu menahan kondisi ini. Kami menggunakan lampu yang dilengkapi dengan lapisan kuarsa khusus serta sambungan kaca-logam. Lapisan ini berfungsi sebagai “dinding” yang mencegah zat-zat kimia masuk ke dalam bagian dalam lampu. Yang lebih baik lagi adalah, jika sambungan tersebut rusak, lampu tersebut akan langsung mati. Lebih baik lampu tersebut mati daripada terjadi kebakaran di ruang pembersihan. Itulah satu-satunya cara untuk bisa tidur nyenyak di malam hari.
Mengelola Suhu
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek. Mengapa? Karena kami ingin panas tersebut langsung mengenai permukaan wafer. Anda tentu tidak ingin seluruh bagian mesin berubah menjadi “oven”. Namun, perlu diingat bahwa energi yang dihasilkan oleh lampu ini sangat intens. Artinya, kipas pendingin sangat penting. Jika aliran udara terhambat, lapisan pelindung lampu akan rusak, dan tabung-tabung di dalamnya akan cepat rusak. Pastikan kipas pendingin Anda berfungsi dengan baik.
Hal-Hal Penting Terkait Pemasangan
Layar pengeringan industri sering bergetar. Karena itu, kami menggunakan konektor yang kuat. Konektor ini bukanlah konektor biasa seperti yang digunakan pada alat pemanggang roti; konektor ini dirancang untuk digunakan dalam kondisi yang ekstrem. Setelah disambungkan sekali, Anda tidak perlu repot-repot memeriksanya lagi.
Ketika saatnya mengganti lampu, pastikan dulu keadaan sambungan lampu tersebut. Jika ada retakan, zat-zat kimia akan merembes masuk dan merusak isolasi kabel. Ini merupakan ancaman yang serius bagi peralatan Anda. Saya menyarankan untuk memeriksa sambungan lampu setiap 500 jam penggunaan. Hal ini membutuhkan waktu beberapa menit, tetapi dapat menghindarkan Anda dari masalah downtime yang tak terduga.