Protéger les composants lors du séchage des wafer MEMS
soyons honnêtes : placer une lampe à infrarouges haute intensité à côté de solvants inflammables, c’est courir au désastre. Si vous souhaitez sécher des wafer de capteurs MEMS après un nettoyage chimique, vous avez besoin de chaleur – beaucoup de chaleur – mais vous ne voulez certainement pas avoir d’incendie dans votre salle de nettoyage.
C’est pourquoi nous ne nous contentons pas de fabriquer des lampes. Nous les concevons avec une sorte de protection spéciale, afin de tenir ces vapeurs volatiles éloignées des parties électriques de la lampe.
Gérer les vapeurs
Lorsque l’on se trouve dans une salle de nettoyage chimique, l’air est très dense en vapeurs de solvants, ce qui peut provoquer des étincelles ou un surchauffage. Une lampe ordinaire n’aurait aucune chance de résister.
Nous utilisons donc des enveloppes en quartz spécialisées, avec des joints en verre et en métal. On peut voir cela comme un mur physique qui empêche les produits chimiques d’accéder à l’intérieur de la lampe. Et voici le meilleur aspect : si ce joint venait à se détériorer, la lampe s’éteindrait simplement. C’est bien mieux que de risquer un incendie dans la salle de nettoyage. C’est le seul moyen de dormir tranquillement la nuit.
Gérer la chaleur
Nous utilisons des émetteurs par ondes courtes. Pourquoi ? Parce que nous voulons que la chaleur atteigne directement la surface du wafer. On ne veut pas transformer tout le châssis de la machine en four.
Mais rappelez-vous : cette énergie est très intense. Elle est concentrée. Cela signifie que les ventilateurs de refroidissement sont essentiels. Si le flux d’air est bloqué, l’enveloppe de la lampe subit des pressions, ce qui peut entraîner sa rupture prématurément. Vérifiez bien vos ventilateurs.
Les détails d’installation
Les systèmes de séchage industriels vibrent beaucoup. C’est pourquoi nous utilisons des connecteurs renforcés. Ce ne sont pas ces connexions fragiles que l’on trouve sur un grille-pain ; ce sont des connecteurs robustes. Une fois installés, on n’a plus à s’en soucier.
Lorsqu’il est temps de remplacer une lampe, veuillez vérifier l’étanchéité de son boîtier. S’il y a une fissure, les produits chimiques pourront s’infiltrer et endommager progressivement l’isolation des fils électriques. C’est un danger silencieux pour votre équipement.
Je recommande de vérifier l’étanchéité tous les 500 heures de fonctionnement. Ça ne prend que quelques minutes, mais cela vous évite des pannes imprévues.