Pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants pour vos wafers
Dans le monde du traitement des semi-conducteurs, la perte de chaleur est un véritable problème. Elle entraîne une diminution de l’efficacité de production. Lorsque l’on cherche à maintenir des températures précises sur une feuille de silicium, la dernière chose dont on a besoin, c’est que l’énergie infrarouge s’échappe vers le châssis de l’appareil. C’est de l’énergie gaspillée.
Nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or pour empêcher cela. Ils forcent l’énergie à retourner là où elle doit être : directement sur le substrat.
L’avantage de l’or
Vous avez probablement déjà utilisé des réflecteurs en aluminium standards. Ce ne sont pas mauvais, mais ils s’usent avec le temps et ne sont pas très efficaces pour renvoyer la lumière infrarouge. Nous optons donc pour de l’or de haute pureté, car il reflète jusqu’à 98 % de cette radiation infrarouge. Il ne s’agit pas de rendre l’appareil plus esthétique, mais plutôt de s’assurer que chaque watt généré par l’élément chauffant atteigne bien le wafer, plutôt que d’être absorbé par le réflecteur lui-même.
Diriger la chaleur là où elle est nécessaire
L’objectif est de concentrer le rayonnement infrarouge en un point focal précis. On veut donc avoir une zone de chaleur dense juste à l’endroit où se trouve le wafer.
Le résultat ? Les temps de montée en température deviennent plus rapides. La uniformité de la température sur toute la surface du wafer est également améliorée.
Mais il y a un inconvénient : lorsque la chaleur est concentrée de cette manière, les électrodes de la lampe subissent des contraintes importantes. Il faut donc s’assurer que les systèmes de refroidissement soient suffisamment performants, sinon les extrémités de la lampe risquent d’être endommagées à cause de la chaleur reflétée.
Faire fonctionner ces systèmes en pratique
Ce ne sont pas des solutions complexes. Ils sont conçus pour remplacer directement les composants existants.
Nous passons beaucoup de temps à optimiser la forme géométrique des réflecteurs. Pourquoi ? Parce que c’est ainsi que l’on peut éliminer les “points froids” sur les bords du wafer. Si vous effectuez des tests de mesure et que vous constatez des différences de température, c’est généralement dû à la forme du réflecteur.
En utilisant des réflecteurs en or, vous n’avez pas besoin d’augmenter trop la puissance pour atteindre les températures souhaitées. C’est un avantage pour les alimentations électriques, et cela permet également aux lampes chauffantes de durer plus longtemps.