دیگر نیازی نیست کابینت را گرم کنید؛ بهتر است سطح ویفر را گرم کنید.
اگر تا به حال با هیترهای مقاومتی استاندارد کار کردهاید، میدانید که چقدر آزاردهنده هستند. این هیترها انرژی را در همه جا پخش میکنند؛ این کار باعث مشکلات زیادی میشود. در عوض اینکه انرژی به جای مناسب خود برسد، دیوارههای داخلی کابینت تمام انرژی را جذب میکنند. در نتیجه، دیوارهها گرم میشوند؛ این موضوع نه تنها باعث آسیب به قطعات الکترونیکی حساس میشود، بلکه برای کسانی که مجبورند با این دستگاهها کار کنند، نیز مشکلساز است. هیچکس دوست ندارد که دستگاهی وجود داشته باشد که باعث سوختگی او شود.
نحوه کارکرد گرمایش هدایتشده
ما از لامپهای مادون قرمز برای حل این مشکل استفاده میکنیم. میتوانید آنها را بیشتر شبیه به یک فلاش لامپ در نظر بگیرید. انرژی از طریق خط مستقیم منتقل میشود؛ این انرژی وقت خود را صرف گرم کردن هوای اطراف نمیکند، بلکه مستقیماً به سطح ویفر میرسد. با تنظیم فاصله کانونی و استفاده از محافظهای بازتابنده، میتوانیم تمام انرژی گرمایی را بر روی سطح ویفر تخصیص دهیم. در نتیجه، بدنه دستگاه همچنان خنک باقی میماند.
توان، دقت و احتیاط
این لامپهای پرتوان، قدرت زیادی دارند؛ بنابراین برای افزایش سریع دما در طول فرآیند گرم کردن، مناسب هستند. معمولاً از کنترلکنندههای PID برای کنترل دما استفاده میشود تا از فراتر رفتن از دمای مورد نظر جلوگیری شود. اما نمیتوانید فقط توان لامپ را افزایش دهید و کار را رها کنید؛ اگر توان زیادی را در یک فضای کوچک بدون محافظ وارد کنید، گرما همچنان وارد کابینت خواهد شد. ما متوجه شدهایم که محافظهای طلاکاریشده یا آلومینیومی، بهترین گزینه هستند؛ زیرا آنها فوتونهای اضافی را دوباره به سمت ویفر بازتاب میدهند.
معایب این روش
باید بدانید که گرمایش هدایتشده راهحل جادویی نیست؛ این روش نیز معایبی دارد. شدت گرما با فاصله گرفتن از منبع، به سرعت کاهش مییابد. اگر ویفر در جای مناسب قرار نگیرد، نقاط سردی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. برای حفظ دمای یکنواخت در سطح کلی ویفر، باید دقت زیادی در تنظیم محور Z داشته باشید. و یک نکته دیگر: این لامپها بسیار داغ میشوند؛ اگر فن خنککننده از کار بیفتد، لامپ میتواند در عرض چند دقیقه از کار بیفتد. لطفاً مطمئن شوید که سیستمهای کنترلی دستگاه، در صورت کاهش جریان هوا، بلافاصله توان لامپ را قطع کنند؛ این کار میتواند از مشکلات زیادی جلوگیری کند.