دیگر نیازی نیست دیوارههای کیسههای حفاظتی را گرم کنید!
هر کسی که تجربه کار با کیسههای حفاظتی در صنعت نیمههادی را داشته باشد، میداند که این کار چقدر دشوار است. شما باید فضای داخل کیسه را گرم کنید، اما نمیخواهید که دیوارههای بیرونی آن به یک دستگاه گرمایشی عمل کنند.
اگر از دستگاههای گرمایشی معمولی استفاده کنید، در واقع تنها هوای اطراف را گرم میکنید. این هوا به همه چیز برخورد میکند؛ به قاب کیسه، درزهای آن و حتی بازوی اپراتور نیز. این کار باعث ایجاد نقاط گرم مزاحم میشود؛ نقاطی که میتوانند درزهای کیسه را خراب کنند یا حتی باعث سوختن اپراتور شوند.
ما راه بهتری پیدا کردیم: استفاده از دستگاههای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز.
چرا امواج مادون قرمز مؤثر هستند؟
فکر کنید که این دستگاهها مانند چراغهای قوی هستند، نه دستگاههای گرمایشی معمولی. امواج مادون قرمز، تابش خود را در یک خط مستقیم ارسال میکنند. این گرما به هوای اطراف توجهی نمیکند؛ بلکه فقط زمانی اثر میکند که به هدف مورد نظر، مانند ویفر یا سطح قطعه کار، برخورد کند.
نتیجه چیست؟ قطعه کار گرم میشود، اما دیوارههای کیسه همچنان سرد باقی میمانند. این روش، روشی بهتر برای مقابله با تراکم گرمای بالا است.
انتخاب دستگاه مناسب
ما معمولاً از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ چون این لامپها میتوانند عمیقتر نفوذ کنند و سریعتر واکنش نشان دهند.
هنگام تنظیم این لامپها، زاویه بسیار مهم است؛ شما میتوانید زاویه لامپ را تنظیم کنید تا تابش آن دقیقاً روی قطعه کار بتابد.
اما یک نکته مهم وجود دارد: تراکم انرژی. اگر از لامپهایی با توان بالا استفاده کنید، اما ماده مورد نظر شما آن طول موج خاص را جذب نکند، انرژی فقط منعکس خواهد شد. در این صورت، دوباره به همان وضعیت اول برمیگردیم؛ یعنی گرما در سراسر کیسه پخش میشود و دیوارههای آن گرم میشوند. بنابراین باید توان لامپ را با چیزی که قطعه کار میتواند جذب کند، هماهنگ کنید.
معایب این روش
ببینید، این روش راه حل کاملی برای تمام مشکلات نیست.
چون گرما در جهت مشخصی ارسال میشود، شما با تفاوتهای شدید دما روبرو خواهید بود؛ مرکز قطعه کار بسیار گرم خواهد بود، در حالی که لبههای آن سرد خواهند ماند. اگر نیاز به گرمای یکنواخت دارید، احتمالاً باید قطعه کار را بچرخانید یا از چندین لامپ استفاده کنید.
همچنین، مراقب ظروف کوارتزی باشید؛ زیرا آنها بسیار شکننده هستند. حتی یک حرکت نادرست در هنگام نصب میتواند باعث از بین رفتن کل دستگاه شود. بنابراین باید با آنها با احتیاط برخورد کنید.