Herkömmliche Konvektionsöfen sind im Grunde genommen einfach nur große Behälter mit heißer Luft. In einer Halbleiterreinräumumgebung ist das ein Albtraum. Warum? Weil die Wärme nicht einfach an Ort und Stelle bleibt. Sie dringt in die Wände der Geräte ein, wodurch diese so heiß werden, dass sie Verbrühungen verursachen können. Zudem muss das Lüftungssystem ständig gegen diese Hitze ankämpfen, um den Raum atembar zu halten.
Eine bessere Methode zur Wärmeübertragung
Wir machen es anders. Anstatt die Luft zu erwärmen, verwenden wir kurzwellige Infrarotlampen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor: Die Wärme bewegt sich in gerader Linie – direkt auf die Werkstücke zu. Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie hingehört. Da die Wärme nicht im Raum herumgeschleudert wird, wird die Außenhülle des Geräts nicht zum „Radiator“.
Das Schwierige dabei
Um die gewünschte Geschwindigkeit zu erreichen, verwenden wir Hochleistungsquarzelemente. Sie reagieren sofort – was gut ist – doch sie können auch aggressiv sein. Man muss die Abstände genau richtig einstellen. Wenn die Lampen zu nah beieinander sind, kann das Substrat beschädigt werden. Zu weit entfernt? Dann geht die Präzision verloren und die Wärme breitet sich wieder im Inneren des Geräts aus. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Warum das wichtig ist
Das Beste daran ist nicht einmal die Wärme selbst – sondern vielmehr das, was man nicht hat. Da wir keine großen Mengen an Luft bewegen müssen, können wir auf riesige Gebläse verzichten. Das bedeutet weniger Vibrationen und weniger Schwebeteilchen im Raum. In einer Reinräumumgebung ist das ein großer Vorteil. Zudem können die Bediener das Gerät berühren, ohne befürchten zu müssen, sich zu verbrennen.
Ein paar Tipps zur Einrichtung
Wenn Sie das Gerät anschließen, sollten Sie nicht einfach nur alles anschließen und darauf hoffen, dass alles funktioniert. Wir empfehlen, SCR-Leistungsregler zu verwenden. Diese dienen als Puffer und verhindern, dass die Glühfäden bei Stromspitzen zerstört werden. Zudem ermöglichen sie eine präzise Temperaturregelung.
Und noch eines: Wenn Sie alte Konvektorkoils durch Infrarotlampen ersetzen, prüfen Sie zunächst die Leistungsfähigkeit des Stromnetzes. Infrarotlampen verbrauchen viel mehr Strom als die langsam erwärmenden Koils, an die man gewöhnt ist.