Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung zu erhitzen – und beginnen Sie stattdessen, die Wafer zu erhitzen.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind ziemlich unpraktisch. Sie strahlen Energie in alle Richtungen ab – 360 Grad hinweg. In einer Halbleiterfabrik ist das ein großes Problem.
Wenn die Wärme nicht in eine bestimmte Richtung gelenkt wird, saugen die Innenwände der teuren Geräte diese nutzlose Energie auf. Dadurch entstehen „heiße Wände“. Das ist nicht nur für die Personen, die die Maschinen bedienen, ein Albtraum, sondern es stört auch die thermische Stabilität der Maschinen völlig.
So lösen wir dieses Problem.
Wir verwenden Richtungs-Infrarotlampen. Anstatt einfach nur einen gewöhnlichen Quarztubus zu verwenden, nutzen wir beschichtete Emittoren sowie spezielle Reflektoren.
Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer Glühbirne zu einer Taschenlampe vor. Wir lenken die Infrarotstrahlung genau dorthin, wo sie hingehört – direkt auf das Wafer oder Substrat. Da der Strahl genau gezielt ist, trifft die Energie nicht auf das Gehäuse der Maschine. Die Wärme gelangt somit direkt zum Werkstück, nicht in das Gehäuse der Maschine. Es ist großartig, wenn man während des Betriebs der Maschine die Wände der Ausrüstung berühren kann – ohne dass sie heiß sind.
Wie man diese Lampen in die Anlage integriert
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie als Ersatz für die herkömmlichen Lampen verwendet werden können. Man muss weder den Reinraum auseinandernehmen noch die Wärneschutzsysteme neu bauen. Es funktioniert einfach.
Aber Achtung: Wenn man die Infrarotenergie so gezielt lenkt, steigt die Intensität am Zielort stark an. Man muss seine PID-Controller überprüfen. Wenn die Sensoren nicht richtig eingestellt sind, könnte die Temperatur zu hoch werden und das Wafer beschädigen. Es handelt sich dabei um eine einfache, aber wichtige Lösung.
Was sich dadurch ändert
Wenn man auf richtungsgebundene Beheizung umstellt, kann man auf die voluminösen externen Kühlfans sowie die lästigen wassergekühlten Systeme verzichten. Die Ausrüstung nimmt weniger Platz ein. Die Umgebung bleibt stabil. Und vor allem können die Techniker nun ungehindert um die Ausrüstung herumgehen, ohne befürchten zu müssen, sich bei manuellen Einstellungen zu verbrennen. Dadurch wird die gesamte Arbeitsumgebung sicherer und besser kontrollierbar.