ওয়েফারের জন্য প্রিসিশন IR সেন্সর
ভূমিকা
কল্পনা করুন: এমন একটি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ লাইন, যেখানে বাতাসটি দাহ্য কেমিক্যালগুলোতে ভরপুর। এমন পরিবেশে সাধারণ হিটিং উপাদানগুলো দ্রুতই...
উচ্চ নির্ভুলতাসম্পন্ন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণকারী হিটার
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় দ্রুতই বোঝা যায় যে, ফটোরেজিস্টকে নরম অবস্থায় রাখার সময় ১°C এর মতো তাপমাত্রার পরিবর্তনও প্রক্রিয়াটিকে বিঘ্নিত করে। আর যদি...