为何镀金反射器对晶圆加热如此重要
在加热晶圆时，实际上就是在与能量浪费作斗争。通常情况下，大部分辐射热会泄漏到腔室壁上，这不仅浪费了能源，还增加了工作的难度。
这时，镀金反射器便派上用场了。
关键在于反射功能。
黄金具有出色的反射红外线的能力。它不会让热量散失掉，而是将光子重新导向目标位置。可以说，这就像使用放大镜一样，能够集中能量。这样一来，整个晶圆上的温度就能保持一致，再也不用担心边缘部分的温度是否与中心部位相同了。
不过，这里有个问题。
由于能量被集中在一起，晶圆表面的热流量会大幅上升。好消息是，通常只需较低的功率就能达到所需的温度。坏消息是，冷却系统必须具备处理这么高热量的能力。如果冷却装置不够强大，那么所有反射回来的能量就会积聚在设备内部，从而导致电路损坏。因此，在更换之前，请务必检查冷却系统的性能。
如何在您的工厂中使用它？
我们设计的这些镀金反射器可以直接替代现有的加热装置，无需重新搭建整个系统。只要更换为镀金反射器，就能避免能量浪费。您会发现能耗降低了，但升温速度却仍能保持在理想状态。此外，还能更好地控制温度梯度，从而避免因局部过热而毁坏整批晶圆。虽然铝制反射器也适用于某些场景，但对于高精度应用来说，镀金反射器才是最佳选择。