Tại sao chúng tôi từ bỏ việc sử dụng ozone trong quy trình đóng rắn bằng tia hồng ngoại trong ngành semiconductors
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất semiconductors, điều cuối cùng mà ai cũng muốn tránh chính là sự ô nhiễm. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi, hoặc một chất độc hại nào đó lọt vào phòng sạch, thì các wafer của chúng ta sẽ bị hư hỏng. Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone. Đây là phương pháp sạch hơn để đạt được mục tiêu mong muốn, mà không cần phải dùng các chất dung môi truyền thống hay các thiết bị UV gây ra hiện tượng ô nhiễm hóa học.
Vấn đề với đèn hồng ngoại thông thường
Vấn đề là: hầu hết các đèn hồng ngoại có bước sóng ngắn đều phát ra bức xạ trong khoảng 185nm đến 254nm. Năng lượng này khiến các phân tử oxy bị phá vỡ, và kết quả là ozone (O3) được tạo ra, gây ô nhiễm môi trường làm việc.
Trong nhà máy sản xuất semiconductors, ozone là một mối đe dọa lớn. Nó làm hư hỏng các công cụ và khiến không khí trở nên nguy hiểm đối với những người làm việc ở đó. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ lọc thạch anh và các linh kiện đặc biệt để chặn lại những bước sóng ngắn này. Bạn vẫn có thể sử dụng nhiệt độ cần thiết để đóng rắn các linh kiện, nhưng không còn khí độc hại nữa.
Đun nóng linh kiện, chứ không phải không khí
Nếu bạn sử dụng các loại keo dán không chứa chì hoặc các chất kết dính thân thiện với môi trường, bạn sẽ biết rằng chúng rất khó đốt cháy. Chúng cần nhiều nhiệt hơn so với các chất kết dính truyền thống.
Các đèn của chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách phát ra nhiệt lượng cao trực tiếp vào bề mặt linh kiện. Thay vì lãng phí năng lượng để làm nóng không khí trong phòng, chúng tôi tập trung năng lượng vào chính linh kiện. Điều này giúp quy trình đóng rắn diễn ra nhanh hơn và hiệu quả hơn. Chi phí điện năng cũng sẽ giảm đi.
Nhược điểm (và cách khắc phục)
Tuy nhiên, cũng có một nhược điểm. Khi tích hợp nhiều năng lượng vào một thiết bị nhỏ để tăng tốc quy trình sản xuất, nguồn cung cấp điện sẽ phải gánh vác một gánh nặng lớn.
Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của thiết bị hoạt động tốt. Nếu dòng khí xung quanh vỏ đèn yếu, các linh kiện như thạch anh hoặc sợi dây tóc sẽ bị hư hỏng nhanh chóng. Đây là vấn đề dễ giải quyết, nhưng lại rất quan trọng.
Điều tốt nhất là: những hệ thống này có thể thay thế dễ dàng cho các hệ thống cũ. Bạn chỉ cần thay thế đèn, kết nối chúng với các bộ điều khiển hiện có, và có thể loại bỏ những hệ thống thu gom ozone cồng kềnh kia. Như vậy, không gian làm việc sẽ được giải phóng, và các bộ điều khiển cũng sẽ hoạt động tốt hơn. Rất đơn giản phải không?