Trên sàn sản xuất, các biến động nhiệt không phải là lý thuyết. Chúng thể hiện qua wafer phế phẩm, mẫu photoresist bị hỏng và tỷ lệ thu hồi sản phẩm giảm lan tỏa trên toàn dây chuyền. Khi đèn trong thiết bị Mattson RTP của bạn bị già cỗi, độ đồng đều nhiệt bị dịch chuyển và cửa sổ quy trình thu hẹp lại. Chúng tôi đã chế tạo hệ thống đèn thay thế để ngăn chặn sự dịch chuyển đó ngay từ nguồn.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Đèn sử dụng các phần tử halogen bước sóng ngắn bên trong một vỏ thạch anh tinh khiết cao, cho phép tỉ lệ tăng nhiệt nhanh mà không vượt quá ngân sách nhiệt. Trên vùng quy trình, độ đồng đều ở mức wafer duy trì trong ±0.1°C, độ lặp lại chu trình giữ ổn định ở 0.2°C. Thiết bị vận hành ổn định trong khoảng 250°C đến 650°C, với khả năng phản hồi dưới một giây — phù hợp cho các bước gia nhiệt spike anneal và nướng photoresist. Lắp ráp được đánh giá phù hợp cho môi trường phòng sạch Class 1–100, không tạo hạt, và giao diện kết nối tương thích với thiết bị Mattson.
Tại sao nó hoạt động trong quá trình lithography
Trong lithography, các bước soft bake và hard bake đòi hỏi kiểm soát nhiệt chặt chẽ. Ngay cả một sự vượt nhiệt nhỏ cũng làm thay đổi kích thước CD và góc nghiêng thành bên. Với đèn này, hồ sơ nướng giữ được chính xác mục tiêu, biến động chiều rộng đường giảm, và biên độ phủ lắp (overlay margin) được cải thiện. Bạn cũng giảm được tiêu thụ năng lượng vì đèn trực tiếp làm nóng wafer, không phải buồng nướng, đồng thời chu kỳ bảo dưỡng dài hơn giảm tải công việc bảo trì dự phòng. Ít dừng máy không kế hoạch, thời điểm thay thế dự đoán được và thông số Cpk của quy trình ổn định.
Đây là những điểm cần lưu ý
Việc lắp đặt đòi hỏi phải khớp chính xác hướng đặt đèn, dòng chảy chất làm mát và căn chỉnh quang học tương ứng với buồng Mattson cụ thể. Chúng tôi kèm theo quy trình hiệu chuẩn và bộ dụng cụ lập bản đồ nhiệt để bạn có thể ghi nhận độ đồng đều trước khi bàn giao. Đèn được tối ưu cho môi trường khí nitơ và khí trơ — môi trường giàu oxy sẽ làm giảm tuổi thọ phần tử đèn. Lên kế hoạch chạy thử nghiệm ngắn sau khi lắp để khóa công thức và xác nhận hiệu suất sinh hạt ở các node quy trình của bạn.