
Bảo vệ các linh kiện khi sấy khô wafer MEMS
Hãy thành thật mà nói: việc đặt bóng đèn hồng ngoại có cường độ cao ngay gần các chất lỏng dễ cháy chính là con đường dẫn đến thảm họa. Nếu bạn muốn sấy khô các wafer cảm biến MEMS sau khi vệ sinh chúng bằng hóa chất, bạn cần nhiệt lượng lớn – nhưng tuyệt đối không muốn xảy ra hỏa hoạn trong phòng vệ sinh này.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ đơn giản tạo ra những chiếc bóng đèn thông thường. Chúng tôi chế tạo chúng với những lớp bảo vệ đặc biệt, nhằm ngăn các chất bay hơi dễ cháy tiếp xúc với các bộ phận tỏa nhiệt của bóng đèn.
Xử lý khí thải
Trong môi trường vệ sinh bằng hóa chất, không khí rất nồng đặc. Không khí này chứa nhiều khí hóa học dễ cháy. Một chiếc bóng đèn thông thường sẽ không thể chịu đựng được điều này.
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn được thiết kế với vỏ bằng thạch anh, kết hợp với các lớp kín bằng thủy tinh và kim loại. Có thể coi đó như một “bức tường vật lý” giúp ngăn các chất hóa học xâm nhập vào bên trong bóng đèn. Điều tuyệt vời nhất là nếu lớp kín này bị hỏng, bóng đèn sẽ tự tắt. Chúng tôi thà để bóng đèn tắt còn hơn là để xảy ra hỏa hoạn trong phòng vệ sinh. Đó mới là cách duy nhất giúp chúng ta yên tâm ngủ vào ban đêm.
Kiểm soát nhiệt độ
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn phát sóng hồng ngoại tia ngắn. Tại sao ư? Bởi vì chúng muốn nhiệt lượng được truyền trực tiếp lên bề mặt wafer. Bạn chắc chắn không muốn toàn bộ khung máy trở thành một “lò nướng”.
Nhưng hãy nhớ rằng, loại năng lượng này rất mạnh. Do đó, các quạt làm mát rất quan trọng. Nếu dòng khí không được lưu thông tốt, lớp vỏ bảo vệ của bóng đèn sẽ bị tổn thương, và các ống dẫn nhiệt sẽ nhanh chóng bị hỏng. Hãy kiểm tra các quạt của bạn thường xuyên.
Chi tiết về việc lắp đặt
Các thiết bị sấy công nghiệp thường rung động rất nhiều. Vì vậy, chúng tôi sử dụng các đầu nối chắc chắn. Đây không phải là những đầu nối yếu ớt như những cái được sử dụng trên máy nướng bánh mì; đây là những đầu nối chịu lực tốt. Bạn chỉ cần kết nối chúng một lần thôi, sau đó có thể quên chúng đi.
Khi cần thay thế bóng đèn, hãy kiểm tra kỹ lớp kín của vỏ bóng đèn. Nếu có vết nứt, các chất hóa học sẽ thấm vào bên trong, làm hỏng lớp cách điện của dây điện. Đó là nguyên nhân gây hỏng hóc cho thiết bị của bạn.
Tôi khuyên bạn nên kiểm tra lớp kín của bóng đèn mỗi 500 giờ hoạt động. Việc này chỉ mất vài phút thôi, nhưng nó sẽ giúp bạn tránh được những sự cố đáng tiếc không mong muốn.