Чому водонепроникні інфрачервоні лампи є чудовим рішенням для виробництва напівпровідників без використання свинцю
Під час процедури промивання напівпровідникових пластин виникає складна проблема: потрібно швидко висушити ці пластини, але водночас не допускати поширення тепла на вологу поверхню чи, що ще гірше, забруднення силіцію.
Саме тут на допомогу приходять водонепроникні інфрачервоні лампи. Замість використання хімічних засобів для сушіння чи потужного потоку повітря, ці лампи використовують теплову енергію для нагрівання води. Це ефективно та просто у використанні.
Як саме працює тепло
Уявіть собі таке: конвекційні печі спочатку муслять нагріти повітря. Інфрачервоні лампи не потребують цього – їхні хвилі проходять прямо крізь рідину та змушують молекули води коливатися. Саме тому ці лампи підходять для виробництва напівпровідників без використання свинцю та є екологічно чистими. Не виникає проблем з отруйними розчинниками чи озоном від УФ-ламп. Це просто фотони, які перетворюються на тепло.
Як утримувати все в сухості
Оскільки ці лампи працюють у вологому середовищі, їх кварцові корпуси закриваються щільно. Це запобігає потраплянню води та хімічних пар на електроди, що може призвести до короткого замикання. Крім того, завдяки високій енергії цих ламп можна зменшити розміри тунелю для сушіння. Це дозволяє заощадити багато простору.
Але є одна проблема: при такій високій щільності тепла потрібно стежити за температурним шоком. Якщо система охолодження не справляється з цим, різкий перехід від холодної води до інтенсивного тепла може пошкодити кварцовий корпус. Тож необхідно правильно налаштувати параметри.
Переваги на практиці
Найкраще те, що ці лампи можна під’єднати до контролера PID. Це забезпечує точне контролювання температури, тож не буде ризику передчасного нагрівання пластин. Крім того, оскільки елементи нагріву не контактують з повітрям, не виникає проблем з пилом на поверхні пластин. Якщо ви все ще використовуєте старі системи з гарячим повітрям, ви знаєте, які проблеми це створює. Перехід на інфрачервоні лампи вирішує цю проблему миттєво. Крім того, це запобігає втраті енергії – нагрівається лише сама пластина, а не весь корпус пристрою. Це просто логічно.