Як усунути викиди вуглецю під час виробництва напівпровідників
Якщо ви хочете зробити процес виробництва напівпровідників безвикидним, недостатньо просто замінити звичайні лампи на світлодіодні. Справжня боротьба відбувається у тому, як ми керуємо процесом нагрівання під час обробки пластин. Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні лампи з золотим покриттям.
Секрет золотого покриття
Стандартні кварцові лампи виділяють енергію всюди навколо. У заводських умовах багато з цього тепла просто зникає або поглинається елементами обладнання, які його не потребують.
Якщо додати тонкий шар золота на поверхню кварцу, ситуація змінюється. Золото відбиває довгохвильове випромінювання назад до філамента, а короткохвильове інфрачервоне випромінювання направляється прямо вперед.
Результат? Сильний, концентрований потік тепла. Він миттєво потрапляє на поверхню пластини. Таким чином не витрачається час на охолодження обладнання, а також не відбувається непотрібне нагрівання інших частин обладнання.
Потужність, швидкість та недоліки
Ці лампи розраховані на високу потужність. Це дозволяє отримати миттєвий ефект нагрівання. При розрахунку витрат можна заощадити – потрібно менше кіловат-годин на одну пластину, оскільки обладнання не працює в режимі очікування.
Але є один недолік: така інтенсивність нагрівання створює значний тиск на кварц. Якщо вентилятори не справляються з цим завданням, кінці трубок швидко перегорають. Й потрібно знайти оптимальний баланс між потоком тепла та потоком повітря, інакше доведеться частіше замінювати лампи.
Яка користь для заводу
Використання інфрачервоних ламп з золотим покриттям дозволяє не лише прискорити процес виробництва, але й зберегти прохолоду в чистій кімнаті. Оскільки менше тепла витрачається, система кондиціонування не мусить докладати значних зусиль для підтримки прохолодного клімату. Це справжній виграш. Ви отримуєте швидший час обробки та менші витрати на електроенергію. Якщо додати до цього контролер типу SCR, можна точно контролювати температуру, уникаючи непотрібних піків енергоспоживання, які трапляються у старих системах.