Устранение выбросов углерода в процессе производства полупроводников
Если вы хотите сделать процесс производства полупроводников бесуглеродным, недостаточно просто заменить обычные лампы на светодиодные. Настоящая борьба с выбросами углерода происходит при обработке пластин. Именно здесь и пригождаются инфракрасные лампы с золотым покрытием.
Преимущества золотого покрытия
Стандартные кварцевые лампы создают много тепла, которое рассеивается повсюду. В производственных условиях большая часть этого тепла теряется или поглощается элементами оборудования, которым оно не нужно.
При нанесении тонкого слоя золота на кварц меняется ситуация: золото отражает длинноволновое излучение обратно в нити лампы, а коротковолновое инфракрасное излучение направляется прямо вперед.
Результатом является сосредоточенный поток тепла, который мгновенно достигает поверхности пластины. Таким образом не теряется время на нагрев, а также не происходит случайного нагрева других частей оборудования.
Мощность, скорость и недостатки
Эти лампы предназначены для работы при высокой мощности. Это позволяет быстро нагревать пластину. При расчете затрат это способствует экономии — требуется меньше киловатт-часов на единицу продукции, поскольку лампы не работают в режиме паузы.
Но есть и недостаток: такая интенсивность нагрева создает большую нагрузку на кварц. Если охлаждающие вентиляторы не справляются с задачей, концы ламп сгорают слишком быстро. Необходимо найти правильный баланс между интенсивностью нагрева и объемом воздушного потока, иначе придется чаще заменять лампы.
Что это дает заводу
Использование ламп с золотым покрытием позволяет не только ускорить процесс производства, но и снизить температуру в чистой комнате. Поскольку меньше тепла теряется в воздух, системе кондиционирования не нужно прилагать больших усилий для поддержания прохладной температуры. Это действительно выгодно. Вы получаете более быстрый цикл производства и сниженные расходы на электроэнергию. Если использовать контроллеры SCCR, можно поддерживать стабильную температуру без перепадов, характерных для более старых систем.