Прекратите нагревать стены камеры для работы с полупроводниками
Каждый, кто работал в камерах для обработки полупроводников, знает, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо нагревать внутреннюю часть камеры, но в то же время не хочется, чтобы внешние стены превратились в гигантский обогреватель.
Если использовать обычные конвекционные обогреватели, то они просто нагревают всё вокруг – корпус камеры, уплотнения, руки оператора. Это создает серьезные проблемы: возникают точки высокой температуры, которые могут повредить уплотнения или даже спровоцировать ожоги у человека.
Мы нашли лучший способ – использование направленного инфракрасного обогрева.
Почему инфракрасный обогрев эффективен
Представьте себе фонарик вместо обогревателя. Инфракрасные лучи идут по прямой линии. Тепло не влияет на окружающий воздух; оно действует только на тот объект, на который попадает, например, на пластину или подложку.
Результат? Деталь нагревается, но стены камеры остаются прохладными на ощупь. Это гораздо более эффективный способ контроля за температурой.
Выбор подходящего оборудования
Обычно мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Они проникают глубже и реагируют быстрее.
При настройке лампы очень важен угол излучения. Можно скорректировать угол, чтобы луч попадал именно на нужную область детали.
Однако стоит обратить внимание на плотность мощности. Если вы используете лампу с высокой мощностью, но ваш материал не поглощает эту волновую длину, энергия просто отражается. Тогда все остается по-прежнему: тепло распространяется по камере и нагревает ее стены. Необходимо соответствовать мощности лампы тому, что может поглотить ваш материал.
Честные недостатки
Этот метод не является идеальным решением для всех проблем. Из-за направленного излучения возникают значительные температурные различия: центр детали будет горячим, а края – прохладными. Если вам нужно равномерное нагревание, возможно, потребуется поворачивать деталь или использовать несколько ламп.
Еще один совет: будьте осторожны с кварцевыми корпусами ламп. Они хрупкие. Один неправильный жест во время установки может привести к полной потере лампы. Обращайтесь с ними осторожно.