На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в размере 0,3°C во время сушки пластин или процедуры мягкой обработки фотополимера может привести к изменению критических размеров до уровня нескольких нанометров. Это, в свою очередь, приводит к снижению качества продукции. Мы разработали инфракрасные нагреватели для сушки пластин, которые помогают устранить такую нестабильность. Благодаря им обеспечивается стабильный контроль температуры в тех процессах, где это особенно важно, а время работы оборудования не зависит от циклов его работы.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем инфракрасные излучатели с быстрой реакцией и точным спектральным контролем. Это позволяет энергии эффективно передаваться на пластину и фотополимер без лишних потерь. Равномерность температуры по всей поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C, а точность повторяемости результатов процесса остается высокой. Устройства соответствуют требованиям чистых производственных помещений: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, герметичные соединения, а также поверхности, которые минимизируют образование частиц. Это позволяет использовать устройства в условиях классов чистоты 1–100. Нагревательные модули легко интегрируются в стандартные производственные комплексы благодаря простым механическим и электрическим соединениям. Они сохраняют стабильную мощность в течение тысяч часов — более 5,000 часов при снижении мощности менее чем на 5%.
Почему это работает на практике При сушке пластин инфракрасное излучение обеспечивает равномерную и быструю дегидратацию. Это предотвращает появление следов от воды и микромостиков перед процедурой литографии. При обработке фотополимера тот же принцип позволяет контролировать температуру с высокой точностью, что способствует повышению однородности ширины линий и уменьшению износа поверхности пленки. Процедуры жесткой обработки и затвердевания происходят при постоянной температуре, что обеспечивает хорошее сцепление пленки с поверхностью пластины и её целостность без необходимости переработки.
Потребление энергии снижается, поскольку нагреватель работает только во время процесса. Низкая тепловая инерция также сокращает потери энергии в простое. Меньшее количество циклов обработки означает меньше бракованных пластин и более предсказуемое время выполнения процесса.
Что нужно знать Установка устройств сводится к оптимальной настройке положения и расстояний между компонентами. Если эти параметры не будут соблюдены, на поверхности пластины могут появиться места с повышенной температурой. Некоторые полимеры и антиотражающие слои сильно поглощают инфракрасное излучение, поэтому при первой настройке необходимо измерять температуру на поверхности пластины с помощью калибрированного датчика, чтобы убедиться в точности настройки. После этого достаточно проводить регулярную проверку настроек — ежедневная настройка не требуется.