W procesie litografii szybko się dowiaduje się, że odchylenie temperatury o 1°C podczas procesu łagodnego suszenia fotoopornika nie tylko „przesuwa” cały proces – ale także powoduje odchylki w szerokości linii drukowanej, co może doprowadzić do zniszczenia całej partii produktów. A jeśli suszenie płytki zachowuje choćby cienką warstwę naprężeń na powierzchni, to dochodzi do gromadzenia się cząstek, co negatywnie wpływa na jakość produktu. Kontrola temperatury nie jest tu prostą funkcją pomocniczą – to istotna część całego procesu.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Nasze grzejniki o krótkich falach podczerwieni zapewniają jednorodność temperatury na poziomie płytki w zakresie ±0,1°C, przy powtarzalności wartości temperatury na poziomie ±0,2°C. Szybka zmiana temperatury skraca czas trwania procesu, a kontrola w zamkniętym obwodzie utrzymuje stabilną temperaturę nawet gdy drzwi są otwierane i zamykane. Konstrukcja grzejnika bez kwarcu zapobiega gromadzeniu się cząstek, dzięki czemu temperatura pozostaje na poziomie wymaganym w strefach o czystości klasy 1–100. Dzięki temu uzyskujemy nieprzerwaną pracę przez 24 godziny na dobę, bez żadnych przerw, przy wsparciu danych dotyczących czasu pracy przekraczających 10 000 godzin.
Dlaczego to działa w fabryce Podczas suszenia płytki pole podczerwieni przenika do jej mikrostruktur i usuwa rozpuszczalniki, nie tworząc przy tym żadnej warstwy na powierzchni. Dzięki temu uzyskujemy bezkontaktowe suszenie, co zmniejsza przywieranie cząstek do powierzchni płytki. W przypadku procesu wstępnego i końcowego suszenia fotoopornika ta jednorodność i powtarzalność przekładają się na lepszą kontrolę krytycznych wymiarów, mniej zanieczyszczeń i niższą liczbę defektów. Zużycie energii również jest mniejsze – szybka reakcja grzejnika oznacza mniej czasu spędzonego w stanie bezczynności, co zmniejsza koszty operacyjne za każdą partię produktów.
Na co należy zwrócić uwagę podczas planowania Instalacja jest prosta na standardowych szynach, ale elementy optyczne muszą być dobrze ustawione. Konieczna jest weryfikacja ustawień reflektorów i emiterów już podczas pierwszego uruchomienia, a przy zmianie grzejników konieczna jest kalibracja. Oczekujcie krótkiego okresu stabilizacji przed uruchomieniem procesu. Po kalibracji odchylenia temperatury pozostają na niskim poziomie – upewnijcie się więc, że uwzględnicie koszty początkowej kalibracji w ramach procesu integracji.