Na linii litograficznej, 0,3°C różnicy temperatury podczas suszenia płytek krzemowych lub delikatnego wyżarzania warstwy fotorezystu może spowodować zmianę krytycznych wymiarów płytek o kilka nanometrów. Taka różnica temperatura skutkuje spadkiem jakości produkowania. Stworzyliśmy specjalne grzałki podczerwieni do suszenia płytek, aby zlikwidować tę zmienność. Dzięki temu uzyskujemy stabilną kontrolę temperatury wtedy, gdy proces jest wrażliwy na zmiany temperatury, a czas pracy urządzeń nie zależy od cykli pracy pieca.
Co jest istotne pod względem technicznym używamy emiterów podczerwieni o szybkiej reakcji i precyzyjnym sterowaniu spektrum – dzięki temu energia jest skutecznie przekazywana na płytkę krzemową i warstwę fotorezystu, bez żadnych nadmiarowych efektów. Jednorodność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność wyników pozostaje na wysokim poziomie. Urządzenia te są przystosowane do pracy w środowiskach klasy 1–100: używane są materiały o niskiej ilości gazów emitowanych, hermetycznie zamknięte połączenia oraz powierzchnie, które minimalizują powstawanie cząsteczek. Moduły grzejne można łatwo zainstalować na standardowych platformach procesowych – posiadają proste rozwiązania mechaniczne i elektryczne, a ich wydajność utrzymuje się na stałym poziomie przez tysiące godzin – ponad 5 000 godzin przy spadku wydajności poniżej 5%.
Dlaczego to działa w praktyce Podczas suszenia płytek, podczerwień zapewnia szybką i równomierną dehydratację. To zapobiega powstawaniu śladów wody i mikropontów przed procesem litograficznym. W przypadku obróbki warstwy fotorezystu, ten sam system umożliwia delikatne wyżarzanie przy precyzyjnym kontrolowaniu temperatury, co poprawia jednorodność szerokości linii na płytkach. Etapy twardego wyżarzania i utwardzania odbywają się przy stałych profilach temperatury, więc przyczepność i integralność warstwy fotorezystu są na odpowiednim poziomie, bez konieczności powtórnego przetwarzania.
Użycie energii jest mniejsze, ponieważ grzałki pracują tylko wtedy, gdy trwa proces, a niska inercja cieplna redukuje straty energii w stanie spoczynku. Mniej cykli wyżarzania oznacza mniej odpadków i większą stabilność czasu pracy urządzeń.
Co należy wiedzieć Instalacja polega na precyzyjnym ustawieniu optycznym i zachowaniu odpowiedniej odległości między elementami urządzenia – jeśli to zrobimy źle, na powierzchni płytki pojawią się lokalne obszary o wysokiej temperaturze. Niektóre polimery i warstwy antyrefleksyjne silnie pochłaniają światło w zakresie bliskiej podczerwieni, dlatego pierwszy test powinien polegać na pomiarze temperatury na powierzchni płytki za pomocą kalibrowanego sensora, aby sprawdzić dokładność ustawień. Gdy profil temperatury zostanie ustalony, wystarczą regularne kontrole kalibracji – nie ma potrzeby codziennego dostrojowania.