Stop de scherven: Voorkom dat je kwartsbuizen beschadigen
In een omgeving met hoge belasting is het een nachtmerrie wanneer een infraroodlamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand van de apparatuur – ook al is dat al erg genoeg – maar ook om de troep die hierdoor ontstaat.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, vallen er glasscherven en wolfraamfilamenten op de waferlagen terecht. Eén knal en al je producten zijn verloren. Daarom proberen we koste wat kost deze ‘secundaire vervuiling’ in onze IR-verwarmers te voorkomen.
Het geheim van de bedrading
De meeste mensen negeren de bedrading, maar dit is belangrijk: gewone draden kunnen de hitte aan de uiteinden van de lamp niet aan. Ze smelten of gaan kapot.
Wij gebruiken draden die zijn bedekt met Teflon, zodat ze de hitte wel kunnen weerstaan. Als de isolatie faalt, ontstaan er spanningsverschillen. Dit leidt tot kleine, maar zeer hete punten op het kwarts. Onder zware belasting worden deze plekken stresspunten, waardoor de buis kan breken.
Eenvoudig gezegd: Teflon zorgt ervoor dat de verbinding schoon blijft en dat de hitte op de juiste plek terechtkomt.
Voorbereiding op het ergste
Veel buizen breken omdat de afsluiting tussen het wolfraamfilament en de kwartsbuis niet goed is. Ze zetten zich op verschillende manieren uit, of de afsluiting is vies – waardoor de buis breekt.
Wij hebben dit opgelost door gebruik te maken van speciale eindkapjes. Hierdoor kan het kwarts ruimte hebben om zich uit te breiden, zonder dat er druk op de afsluiting komt.
Maar we bereiden ons ook voor op het ergste. In sommige situaties gebruiken we een veiligheidsnet of een beschermende huls. Denk hiervan als van een soort verzekering. Als een buis toch kapotgaat, vangt de huls de brokstukken op. Zodoende blijven je waferlagen schoon, en hoef je geen hele dag bezig te zijn met het opruimen van glasscherven uit de machine.
Het compromis
We willen allemaal een hoge hitte-dichtheid. Maar wanneer we deze lampen tot hun maximale vermogen laten werken, neemt de druk van het halogeengas toe.
Hier komen de koelventilatoren om de hoek kijken. Als de luchtstroom zwak is, gaan de uiteinden van de lamp oververhitten. Op dat moment maakt het niet meer uit hoe goede Teflondraden je ook hebt – ze zullen toch verslechteren.
Houd de luchtstroom stabiel. Dit zorgt erbij dat je lampen langer meegaan en dat je cleanroom echt schoon blijft.