Op de afdeling voor lithografie leer je al snel dat een verschil van 1°C tijdens het verwarmen van de fotoresist niet alleen tot afwijkingen in het proces leidt, maar ook tot fouten bij het printen. En als er nog maar een dunne laag oppervlakte spanning op het gewicht blijft zitten, dan kunnen er deeltjes vast komen te zitten, waardoor de productiekwaliteit vermindert. Thermische controle is geen achtergrondfunctie; het is onderdeel van het proces zelf.
Wat technisch gezien belangrijk is: Onze korte-golflengte-infraroodverwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van het gewicht binnen ±0,1°C blijft. De herhalbaarheid van de ingestelde temperatuur ligt op ±0,2°C. Het snelle temperatuurverloop verkort de verwerkingstijd, terwijl de gesloten-kontrolloop de temperatuur stabiel houdt, zelfs wanneer de deuren regelmatig worden geopend en gesloten. Het ontwerp zonder kwarts zorgt ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen, zodat de omstandigheden voldoen aan de eisen van een schone ruimte van klasse 1–100. U kunt 24/7 op volle capaciteit werken, zonder onverwachte stilstanden. De MTBF-waarde is meer dan 10.000 uur.
Waarom het werkt in de productiefaciliteit: Bij het drogen van de gewichten dringt het infraroodlicht door de microstructuur heen en verwijdert het oplosmiddelen, zonder dat er een laagje op het oppervlak ontstaat. Hierdoor vindt er contactloos drogen plaats, waardoor de kans op deformaties van het materiaal wordt verminderd. Tijdens het voorverwarmen en verhitten van de fotoresist zorgt deze uniformiteit en herhalbaarheid voor betere controle over de belangrijkste dimensies, minder afwijkingen en een lagere defectdichtheid. Ook de energieverbruik neemt af: dankzij de snelle respons van de warmtebron wordt er minder energie verspild, waardoor de kosten per batch dalen.
Wat u moet meenemen in de planning: De installatie is eenvoudig, mits de apparaten op de juiste manier worden geplaatst. De reflectoren en emissies moeten bij de eerste instelling goed worden afgesteld. Ook moet er rekening worden gehouden met de kalibratie wanneer de apparaten worden vervangen. Er is een korte stabilisatietijd nodig voordat het proces beschikbaar is. Eenmaal gekalibreerd blijven de afwijkingen minimaal. Zorg er dus voor dat u de benodigde tijd voor de eerste afstemming meeneemt in uw planning.