Stop met het verwarmen van uw apparatuur (en begin in plaats daarvan de wafers te verwarmen)
De meeste standaardverwarmingselementen zijn nogal rommelig. Ze sturen energie in alle richtingen – 360 graden aan warmte die overal naartoe gaat. In een halfgeleiderfabriek is dat een enorm probleem.
Wanneer de warmte niet in één richting wordt gestuurd, nemen de binnenmuren van uw dure apparatuur al die verspilde energie op. Hierdoor ontstaan “harde muren”. Dat is niet alleen een nachtmerrie voor de mensen die de machines bedienen, maar het verstoort ook de thermische stabiliteit van de apparatuur.
Hier is hoe we dit oplossen.
We gebruiken richtingsgebonden infraroodlampen. In plaats van gewone kwartsbuizen te gebruiken, maken we gebruik van gelakte emitters en gespecialiseerde reflectoren.
Stel je voor dat je van een gloeilamp overstapt op een zaklamp. We zorgen ervoor dat de infraroodstraling precies daar terechtkomt waar ze moet zijn: rechtstreeks op de wafer of het substraat.
Omdat het lichtbundeltje zeer gericht is, raakt de energie de behuizing van de apparatuur niet. De warmte gaat rechtstreeks naar het product, en niet naar de buitenkant van de apparatuur. Het is fijn om de muren van de apparatuur aan te raken terwijl deze op maximale temperatuur werkt, zonder dat ze heet aanvoelen.
Hoe u dit in uw installatie kunt integreren
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze direct als vervanging kunnen worden gebruikt. U hoeft uw schone ruimte niet uit elkaar te halen of de thermische bescherming opnieuw op te bouwen. Het werkt gewoon.
Maar let op: wanneer u de infraroodenergie op deze manier richt, neemt de intensiteit op de gewenste plek toe. U moet uw PID-controleurs goed controleren. Als uw sensoren niet goed ingesteld zijn op deze extra flux, kan de temperatuur te hoog worden en kan de wafer beschadigd raken. Het is een eenvoudige oplossing, maar wel belangrijk.
Wat dit in de praktijk betekent
Als u overgaat op richtingsgebonden verwarming, hoeft u geen zware externe koelpaden of lastige vloeistofkoelingssystemen meer te gebruiken. De apparatuur neemt minder ruimte in beslag. De omgeving blijft stabiel. En het belangrijkste: uw technici kunnen gemakkelijk rondlopen bij de apparatuur, zonder bang te hoeven zijn om zich te branden tijdens snelle handmatige aanpassingen. Op deze manier voelt de hele werkruimte veiliger en beter gecontroleerd aan.