MEMSウェーハを乾燥させる際の安全対策
正直に言って、高強度の赤外線ランプを可燃性の溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。化学的な洗浄後にMEMSセンサーワェーハを乾燥させるには熱が必要ですが、クリーンルーム内で火災が起きるわけにはいきません。
だからこそ、単にランプを作るだけではなく、その揮発性蒸気がランプの部品に近づかないように、特別な保護装置を備えてランプを作ります。
蒸気の対処法
化学的な洗浄を行っている間は、空気中に溶剤の蒸気がたくさん含まれており、それらが火花を発生させたり、過熱したりする可能性があります。普通のランプでは耐えられません。
私たちは、ガラスと金属で密閉された特殊な石英製のケースを使用します。これはまるで物理的な壁のようなもので、化学物質がランプの内部に入るのを防ぎます。そして最も良い点は、もしこの密封が壊れても、ランプは静かに点滅を止めるだけです。クリーンルーム内で火災が起きるよりは、ランプが壊れる方がましなのです。これが夜安心して眠れる唯一の方法です。
熱の管理
私たちは短波長の赤外線放射体を使用します。なぜかというと、熱をワェーハの表面に直接当てたいからです。機械全体をオーブンのようにしてしまってはいけません。
しかし、このようなエネルギーは非常に強力で、集中しているため、冷却ファンが非常に重要になります。もし空気の流れが妨げられると、ランプの封止部分にストレスがかかり、管が早く破損してしまいます。必ずファンの状態をチェックしてください。
設置時の注意点
工業用の乾燥装置はかなり振動します。そのため、強化されたコネクタを使用します。これはトースターに使われているような安っぽいプラグではなく、頑丈な接続部品です。一度接続してしまえば、もう心配する必要はありません。
ランプを交換する際は、必ずケースの密封状態をチェックしてください。もし裂け目があれば、化学物質が漏れ込み、配線の絶縁体を徐々に腐食させてしまいます。これは機器にとって致命的です。
私は、500時間ごとに密封状態をチェックすることをお勧めします。数分しかかかりませんが、予期せぬ停止を避けることができます。