半導体製造におけるコストの壁を打破する
現場で皆が気にしている疑問ですが、国産の赤外線ヒーターは本当に、ウェーハ処理装置に使用されている高価な輸入品に代わり得るのでしょうか？
短答すれば、技術的に可能です。私たちが開発したヒーターは、元のものと同じように簡単に取り付けられ、装置や仕様に影響を与えません。性能面でも妥協せず、そのまま交換できます。
電力、電圧、サイズ――率直な話
どんなヒーターにとっても最も重要なのは電力供給です。私たちのヒーターも例外ではありません。2500Wという高出力を誇り、これによってウェーハ上の温度を迅速に安定させることができます。
電源は400Vで、これは標準的な工業用電源と同じなので、元の装置が要求する熱負荷に対応できます。
しかし、こんなに高い出力をコンパクトな300mmの管の中に収めるには、何よりも重要なのが熱管理です。機械の冷却・通気システムがその集中した熱に対応できるかを確認する必要があります。
材料と設計：なぜうまく機能するのか
私たちは、短波赤外線ハロゲン素子を高純度の石英管の中に配置することで、迅速な反応と正確な温度制御を実現しました。
石英管には特定の波長を遮断するコーティングが施されており、ウェーハ表面が不要な放射エネルギーから保護されます。
そして、互換性の秘訣は接続部です。標準的なR7sコネクタを使用しているため、既存のソケットに直接接続できます。配線の変更や取り付けの修正は不要です。そのまま交換できます。
実際の稼働状況
ラインを運営するエンジニアにとって、最も重要なのは連続性です。R7sコネクタと標準化された寸法のおかげで、交換にかかる時間は数分程度で済みます。そのため、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。また、高い熱密度により、厳しい処理条件にも対応できます。
ただ一つ注意点があります。2500Wの出力を加えると、熱も増えます。冷却システムがその余分な熱に対応できるかを確認してください。私たちは加熱力を提供しますが、機械がそれに対応できるかはご自身で確認してください。