なぜ金メッキされた反射板がウェーハの加熱にとって重要なのか
ウェーハを加熱する際、実際にはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。ほとんどの場合、放射される熱の大部分がチャンバーの壁に漏れてしまいます。これは電力の無駄であり、作業をより困難にしてしまいます。
ここで役立つのが金メッキされた反射板です。
その秘密は反射にあります。
金は赤外線を効果的に反射する特性を持っています。その熱が無駄に散逸するのを防ぎ、正確に目的の位置に光子を戻すのです。
これは、ランプを「より高温にする」というよりは、むしろ拡大鏡のようにエネルギーを集中させると考える方が良いでしょう。その結果、ウェーハ全体に均一な温度が保たれ、端の部分も中央と同じくらい高温になります。
しかし、注意点もあります。
エネルギーを集中させるため、ウェーハ表面の熱流束が上昇します。良い点は、通常はより低いワット数で目標の温度に到達できることです。悪い点は、冷却システムがそれに対応できる必要があることです。もしマニホールドやヒートシンクが小さいと、反射されたエネルギーが内部に蓄積されてしまいます。注意しなければ、配線が壊れてしまう可能性があります。交換する前に、冷却システムの仕様を必ず確認してください。
自社の設備での利用方法
これらは、既存の加熱装置の代替品として使えるように設計されています。全ての設備を再構築する必要はありません。金メッキされた反射板に交換するだけで、「エネルギーの無駄遣い」を防げます。消費電力は減少しますが、加熱速度は必要なレベルを維持できます。さらに、熱勾配の制御も大幅に向上します。つまり、不均一な高温部分によってウェーハが損傷する心配がなくなります。アルミニウム製の反射板でも十分ですが、高精度な処理には金メッキされた反射板が最適です。