クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行うとき、加熱はかなり厄介な問題です。単に適切な温度を維持するだけでは不十分で、目に見えない微粒子の問題もあります。
一般的な加熱要素は、このような環境では役立ちません。それらはガスを放出したり、微小な粒子を発生させたりして、ウェーハや医療用ポリマーを損傷させてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかさんでしまいます。私たちは、高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用してこの問題に対処しています。
なぜ石英なのか？
私たちは、不純物がほとんど含まれていない溶融シリカを使用しています。これにより、安価な管材で見られるような「スケーリング」や剥離が起こりにくくなります。
このランプは短波長の赤外線を利用して動作します。素晴らしい点は、熱が直接基板に伝わるということです。周囲の空気を温めるためのエネルギーの無駄がありません。空気の流れが少なくなるため、作業場内に浮遊する粒子も少なくなります。つまり、より清潔になります。
ガス放出の問題について
無菌状態を維持するために、私たちは部品に含まれるすべての有機系接着剤やグルーを取り除きました。シール部分もしっかりと固定されており、接着剤や汚れが一切ありません。ランプが最適な温度に達すると、揮発性化学物質が空気中に漏れ出す心配もありません。
私は通常、デジタル式の赤外線乾燥コントローラーを併用することを推奨します。そうすることで、過度な加熱を防ぐことができます。ランプが過度に熱くなると、石英に過度な負荷がかかり、早期に壊れてしまいます。PID制御をしっかり行えば、ランプの寿命もずっと長くなります。
実際の工場での状況
これらのランプは、ごく狭い空間に大量の熱を発生させます。古い対流型オーブンを使っている場合、これらのランプは素晴らしい代替品です。
しかし、注意点もあります。高純度の石英は壊れやすいのです。もし手で触れると、皮膚からの油分が熱源となり、ランプが壊れてしまいます。必ずノンワイプの手袋を着用してください。
最後に、電源が安定していることも重要です。わずかな電圧の変動でも、フィラメントが壊れてしまう可能性があります。コントローラーがランプの正確なワット数に対応しているかを確認してください。そうすれば、ランプの点滅や不均一な加熱といった問題を避けることができます。