半導体用グローブボックスを扱ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。内部を加熱する必要がありますが、外壁が巨大なヒーターのようになってしまっては困ります。
もし通常の対流式ヒーターを使えば、結局は空気全体を加熱してしまいます。その空気はケースやシール、操作者の腕など、あらゆる場所に当たります。これでは混乱してしまいます。結果として、不快な高温部分ができてしまい、シールが壊れたり、最悪の場合は人が火傷したりすることもあります。
私たちは、より良い方法を見つけました。それが指向性赤外線加熱です。
なぜ赤外線が有効なのか まるで懐中電灯のようなものです。赤外線は直線的に放射されます。熱は周囲の空気には関係せず、ウェハや基板のようなターゲットに当たった時だけ作用します。
その結果、ワークピースは熱くなりますが、グローブボックスの内壁は触っても冷たいままです。これは高密度の熱を扱うのに適した方法です。
適切な装置の選択 私たちは通常、短波長の赤外線ランプを使用します。これにより、より深く浸透し、迅速に反応します。
設置する際には、角度が重要です。ランプの角度を調整して、特定の部分だけを加熱することができます。
ただし、注意点があります。それは出力密度です。高ワット数のランプを使っても、材料がその波長を吸収しなければ、エネルギーは跳ね返ってしまいます。そうなると、再び始点に戻ってしまい、部屋の壁が温められてしまいます。ランプの出力を、ワークピースが実際に吸収しやすい値に合わせる必要があります。
正直な妥協点 正直、すべての問題に完璧な解決策はありません。
熱が方向性を持つため、急激な温度差が生じます。部品の中央部分は非常に熱くなりますが、端の部分は低温のままです。完全に均一に加熱したい場合は、部品を回転させたり、複数のランプを使ったりする必要があります。
また、注意点として、石英製のケースには気を付けてください。それらは壊れやすいのです。取り付け時に少しでも無理に扱うと、ランプ全体がダメになってしまいます。丁寧に扱う必要があります。