MEMS वेफरों को सुखाते समय उन्हें सुरक्षित रखना आवश्यक है। ईमानदारी से कहें तो, ज्वलनशील घोलों के बगल में उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, वेफर को सुखाने या फोटोरेसिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया के दौरान 0.3°C का तापमान-परिवर्तन होने से महत्वपूर्ण आयामों में...