लिथोग्राफी प्रक्रिया में, हम फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया को “सिर्फ गर्मी देने” की प्रक्रिया के रूप में ही नहीं देखते। यह तो आयामी नियंत्रण है… बहुत ही सरल। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का अंतर भी उत्पादन संबंधी महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है; और असमान तापमान स्थिति से उत्पादन में कमी आ जाती है। DNS स्क्रीन वेफर ड्रायर लैंप को इसी वास्तविकता को ध्यान में रखकर ही डिज़ाइन किया गया है… यह थर्मल नियंत्रण प्रणाली सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा करने हेतु डिज़ाइन की गई है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप, फोटोरेजिस्ट की थर्मल प्रतिक्रिया के अनुसार लघु-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड किरणों का उपयोग करता है… इससे तापमान में तेज़ एवं स्थिर नियंत्रण संभव होता है। वेफरों पर तापमान स्थिरता ±0.1°C के भीतर ही रहती है… इसका मतलब है कि हर वेफर को समान तापमान ही मिलता है। क्लीनरूम संगतता भी इस लैंप की विशेषताओं में शामिल है… इसका डिज़ाइन क्लास 1–100 वाले वातावरणों हेतु ही किया गया है… इसमें ऐसी सामग्रियाँ एवं सीलिंगें हैं जो कणों के उत्पन्न होने को रोकती हैं। पुनरावृत्ति संभव है, क्योंकि लैंप 5,000+ घंटों तक स्थिर रहता है… तापमान में केवल 5% ही बदलाव होता है।
यह लैंप क्यों उपयुक्त है?
वेफरों को सुखाने एवं फोटोरेजिस्ट को गर्म करने हेतु ऐसे तापमान की आवश्यकता होती है जिस पर भरोसा किया जा सके… तेज़ स्थिरीकरण, एवं शून्य स्तर का संदूषण। यह लैंप थर्मल स्थिरीकरण समय को कम करके, वेफरों पर तापमान स्थिरता को बनाए रखकर, एवं चेंबर को स्वच्छ रखकर यह सब संभव बनाता है… इससे कम खराबी होती है, उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। इसके अलावा, लैंप की लंबी आयु से स्पेयर पार्ट्स की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं रखरखाव में भी कमी आ जाती है।
स्थापना एवं संचालन के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान सटीक ऑप्टिकल संरेखण एवं स्वच्छ विद्युत प्रणाली आवश्यक है… वोल्टेज एवं करंट को नियंत्रक की आवश्यकताओं के अनुसार ही होना चाहिए… अन्यथा तापमान स्थिरता प्रभावित हो जाएगी। लैंप तभी सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है, जब चेंबर में हवा का प्रवाह एवं निकास उसकी ठंडक प्रणाली के अनुसार हो। एक छोटा सा समझौता भी आवश्यक है… यदि सिस्टम थर्मल भार के लिए छोटा है, तो वार्म-अप समय के कारण तापमान स्थिरता प्रभावित हो सकती है… इसलिए लैंप का आकार वास्तविक वेफरों के आकार एवं सब्सट्रेट स्टैक के अनुसार ही होना चाहिए।